规格参数
共 6 项| 型号 | MK-VRA-100 |
|---|---|
| 角度行程 | ±10°(可依需求选配其他行程) |
| 传动方式 | 精密蜗轮蜗杆/圆弧导轨(依规格) |
| 驱动方式 | 伺服电机,闭环角度反馈 |
| 真空兼容 | 适用于高真空环境,真空兼容润滑 |
| 安装接口 | 标准台面孔位,可组合光学与位移组件 |
产品详情
上海伺服真空角位台定位模组是铭坤科技面向高真空环境精密角度调整需求推出的电动角位台产品,适用于光学实验、半导体检测、真空镀膜及科研院校的精密定位场景。该模组以伺服电机驱动、真空兼容设计和闭环角度反馈为核心,帮助用户在真空腔体内实现稳定、可重复的角度定位,减少人工手动调节带来的误差与停机时间。
产品定位与解决的核心问题
在真空环境下进行光学对准、样品角度调整或光束偏转时,常规电动角位台往往面临润滑挥发、材料放气和散热困难等问题,手动调节则难以保证重复精度。铭坤科技这款伺服真空角位台定位模组针对上述痛点设计:采用真空兼容的润滑与结构材料,降低出气对腔体真空度的影响;以伺服电机配合编码器构成闭环控制,使角度调整过程可记录、可复现,减少反复试调。
对于需要在同一腔体内完成多工位角度切换的用户,模组的电动化控制方式可接入上位机或运动控制系统,便于批量设定与流程化操作,降低对操作人员经验的依赖。
产品特点与配置
模组在结构上采用一体化台体与精密蜗轮蜗杆或圆弧导轨传动方案(依具体规格而定),兼顾承载能力与角度分辨率。台面预留标准安装孔位,便于与光学镜架、样品台、位移台等组件组合使用。电机与限位、零位开关的线缆通过真空馈通引出,方便与外部驱动器连接。
- 伺服电机驱动,支持闭环角度反馈,定位过程可记录
- 真空兼容设计,适用于高真空腔体内的角度调整
- 台面标准孔位,便于与光学及位移组件组合
- 可选配零位与限位开关,便于回零与行程保护
- 结构紧凑,适合腔体内空间受限的安装位置
产品在出厂前进行角度重复性与回程差检查,具体指标随规格不同有所差异,以实物为准。
适用场景
该模组主要面向需要真空环境精密角度调整的用户群体。在科研院校与中科院系统的光学实验中,可用于真空腔内的镜片角度微调与光束偏转;在半导体与3C自动化产线相关检测环节,可配合视觉或光谱系统完成样品姿态调整;在真空镀膜与薄膜沉积设备中,可用于基片角度定位;在航空航天、军工兵器等领域的检测装置中,也可作为角度调整的执行单元。
铭坤科技有限公司长期服务于各大科研院校、中科院系统及工业工厂,在光学机械位移调整件与检测仪器方面积累了较多应用经验,能够根据用户的腔体接口、行程与负载要求提供选型建议。
选型与配套建议
选型时建议用户先明确真空度等级、角度行程、负载重量与安装空间四项基本条件,再确定传动形式与控制方式。若需与现有运动控制系统联调,可提供驱动器接口与通信协议信息,便于集成。对于特殊腔体法兰或非标孔位需求,可与铭坤科技沟通定制方案。
公司坚持新品研发与技术创新,已获得多项发明专利、实用新型专利及软件著作权,可为用户提供从选型、配套到技术支持的持续服务。
服务与交付
铭坤科技秉着“诚以致远,商业兴邦”的企业精神和“专业,专心”的服务理念,为科研院校与工业客户提供产品咨询、选型支持与售后技术协助。产品支持全国发货,交付周期与配套内容以合同约定为准。
规格参数
- 型号:MK-VRA-100
- 角度行程:±10°(可依需求选配其他行程)
- 传动方式:精密蜗轮蜗杆/圆弧导轨(依规格)
- 驱动方式:伺服电机,闭环角度反馈
- 真空兼容:适用于高真空环境,真空兼容润滑
- 安装接口:标准台面孔位,可组合光学与位移组件
以上参数以实物为准,具体参数请咨询。
联系方式:铭坤科技 15301802076