「江苏有实力的替代MKS的金属薄膜真空规加工厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CMG-100 电容金属薄膜真空计，是一款面向 0.1Torr 量程段的高精度真空测量器件，主要面向半导体设备、真空镀膜、科研院所、核工业等需要在严苛真空环境下稳定测量压力的用户。产品由国内团队自主研发制造，针对美国禁令下 MKS 金属薄膜真空计供应受限的问题提供可落地的国产替代方案，并已实现量产。核心卖点在于量程段内精度与长期稳定性、可提供工作温度 200℃ 的版本，以及具备 CE **与 ISO9001:2015 质量管理体系支撑的交付保障。

项目背景：一条被供应限制卡住的产线

江苏某半导体设备集成商在 2023 年集中遇到一个现实问题：其真空腔体与传输模块长期配套使用 MKS 电容金属薄膜真空计，0.1Torr 量程段的采购周期从数周拉长到数月，部分型号出现交付不确定的情况。设备整机调试进度因此受影响，客户端的备件替换计划也无法按期推进。

该企业随后寻找国内供应商，但接触到多数厂商只能覆盖粗真空或中真空段，对 0.1Torr 量程、金属薄膜感压结构、温度漂移控制这些关键指标缺乏成熟量产经验。客户实际需要的不是一只“能用”的规，而是能够直接替换原有接口、在设备上长期稳定运行、并能提供一致批次的国产器件。

客户痛点：替代不只是换一只表

在项目沟通中，客户提出了几项具体诉求，这些诉求也基本代表了当前金属薄膜真空规国产替代的主要难点：

• 量程与接口：需要覆盖 0.1Torr 量程段，机械与电气接口与原设备匹配，减少整机改动；
• 稳定性：设备连续运行，真空计零点漂移与重复性直接影响工艺判断；
• 温度适应性：部分腔体在烘烤或工艺过程中温度较高，需要耐 200℃ 版本；
• 供货确定性：批量一致性与交期可预期，是设备厂最关心的因素之一；
• 合规与质量：需要具备 CE **与质量管理体系文件，满足整机出口与客户审核要求。

解决方案：从单点替换到系列化配套

迅微纳半导体科技针对该项目提供了以 XWN-CMG-100 为主体的替代方案。该型号采用电容金属薄膜感压结构，面向 0.1Torr 量程段设计，并在此基础上提供工作温度 200℃ 的版本供客户按腔体工况选用。团队在项目前期与客户确认了安装接口、电气连接与信号输出形式，按设备实际装配条件进行适配，降低整机改造成本。

除金属薄膜真空计外，迅微纳还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可在同一台设备的不同真空段形成配套组合，减少客户在多供应商之间协调的压力。这一产品布局也使客户在后续机型开发时具备更完整的国产选型空间。

项目推进过程中，客户对批次一致性与长期漂移较为关注。迅微纳依托 ISO9001:2015 质量管理体系进行过程控制，产品已通过 CE **，向客户提供了相应的**与检测文件，用于整机出口和内部审核。

实施与成效：从样品验证到批量装机

项目按“样品验证—小批试用—批量装机”的节奏推进。首轮样品在客户设备上完成量程、响应与零点稳定性测试，随后进入小批量试用阶段，重点观察连续运行条件下的漂移表现。验证通过后，客户将 XWN-CMG-100 纳入其真空测量模块的合格选型清单，并逐步扩大装机比例。

从客户反馈看，替代方案的主要价值体现在三方面：一是供货节奏恢复可控，设备调试与交付计划不再受单一海外供应渠道牵制；二是同一供应商可覆盖多个真空段产品，备件管理更集中；三是国产器件在服务响应上更直接，遇到适配问题时能够较快得到技术支持。

迅微纳的研发团队由 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过 50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项和软件著作权 4 项，产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景

XWN-CMG-100 及其 200℃ 版本适用于半导体设备腔体压力监测、真空镀膜工艺控制、科研院所真空系统搭建、核工业相关真空环节等场景。对需要在中低真空段获得稳定读数、并对供货确定性有要求的设备厂与终端用户，可作为金属薄膜真空计的国产选型参考。具体适配方案建议结合实际腔体接口、工艺温度与量程需求与厂家确认。

服务与交付

迅微纳提供选型咨询、样品测试、接口适配确认与批量交付等环节的服务。产品发货地覆盖全国，交期按订单情况确认。涉及**文件、检测报告与质量体系资料的，可在项目对接阶段一并提供。参数以实物为准，具体参数请咨询厂家确认。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100（0.1Torr 电容金属薄膜真空计）
• 测量原理:电容金属薄膜感压结构
• 量程:0.1Torr 量程段
• 工作温度:标准版本常温型，可选 200℃ 高温版本
• **:CE **，企业通过 ISO9001:2015 质量管理体系**
• 说明:以上参数以实物为准，具体参数请咨询厂家

联系方式：迅微纳 4008168065。地址：请咨询厂家获取详细地址。