「苏州可靠的复合真空规生产厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的复合真空规是一款面向中高真空测量场景的国产化真空计产品，由电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计组合而成，覆盖从粗真空到高真空的连续测量需求。该产品适合科研院所、半导体设备、真空镀膜、太阳能及核工业等对真空测量稳定性有要求的用户，核心卖点在于核心敏感器件自主研发、宽量程连续测量，以及可替代进口同类产品的交付能力。

产品定位与整体构成

复合真空规的本质是把两种测量原理放在同一套系统中协同工作：低真空段由皮拉尼规负责，高真空段由电容金属薄膜规负责，中间通过切换逻辑实现连续读数。相比单一原理的真空计，这种组合方式减少了用户在量程边缘反复更换仪表的情况，也降低了因量程不匹配导致的读数偏差风险。

迅微纳长期聚焦高性能真空计的自主研发与制造，目标是解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口带来的供应风险，推动核心器件的国产替代。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。这些积累直接体现在复合真空规的敏感膜片工艺与信号处理电路上。

能解决什么问题

在实际产线和实验平台上，真空测量常见的问题有三类：一是量程覆盖不全，抽气过程中需要人工换表；二是长期运行后零点漂移，数据可信度下降；三是进口仪表交期长、维护成本高。复合真空规针对这三点做了对应设计：宽量程连续输出减少换表操作；金属薄膜敏感元件在结构上具备较好的长期稳定性；国产化供应则缩短了交付与售后响应周期。

需要说明的是，不同工艺腔体的气体成分、洁净度和温度条件差异较大，真空计的实际表现应以现场标定结果为准，具体参数请咨询。

典型应用场景

从已落地的使用情况看，复合真空规主要出现在以下几类场景中：

• 半导体设备腔体的抽气过程监测，需要在常压到高真空之间连续读取压力变化；
• 真空镀膜产线的工艺压力控制，对重复性和长期漂移较为敏感；
• 科研院所的真空实验平台，量程跨度大、气体种类多；
• 核工业相关设备与聚变装置配套的真空监测环节；
• 太阳能电池制程中的真空段压力确认。

迅微纳的产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些场景的共同点是对真空数据的连续性和可追溯性有明确要求，而非单点测量。

材质配置与产品特点

复合真空规的电容金属薄膜测量单元采用金属薄膜敏感结构，配合自主设计的信号调理电路，工作温度可覆盖至200摄氏度版本（该高温型号为迅微纳独立产品线，复合型号的耐温配置以订货型号为准）。皮拉尼测量单元采用常规热导原理，负责低真空段。整机外壳与接口按工业现场安装习惯设计，便于集成到设备控制柜或真空管路中。

除复合真空规外，迅微纳还开发了电容金属薄膜真空计（含0.1Torr量程的量产型号）、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可满足不同真空段的单独测量需求。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口确认到售后标定的完整支持。由于复合真空规涉及两种测量原理的匹配，建议用户在采购前提供使用场景的真空范围、气体种类和安装方式，由技术人员协助确认配置。产品发货地为苏州，可面向全国发货，具体交期与备货情况请咨询确认。参考价为面议，不同量程组合与接口配置对应不同报价。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 测量量程:1×10⁻⁴ Pa 至 1×10⁵ Pa（连续覆盖，以实物为准）
• 测量精度:读数的±0.5%（高真空段，具体参数请咨询）
• 工作温度:常规版0至50℃，高温版可至200℃（按型号选配）
• 输出信号:0-10V模拟输出，可选RS485通信
• 供电电源:DC 24V

以上参数为常规配置参考，不同型号与量程组合存在差异，以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。