「江苏电容式真空规销售厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100电容式真空规，是一款基于电容金属薄膜传感技术的高精度真空测量仪器，量程覆盖0.1Torr（约0.13mbar）至1000Torr，适用于半导体制造、真空镀膜、太阳能电池、核工业及科研院所等对真空度要求严苛的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令影响的行业痛点，实现了核心器件的国产化替代，并已通过CE**及ISO9001：2015质量管理体系**。其突出优势在于：量程下限可达0.1Torr，工作温度最高支持200℃，在精度、稳定性与响应速度上可满足一线设备厂商的严苛要求。

行业背景与国产替代趋势

电容金属薄膜真空计是真空测量领域公认的高精度基准仪器，广泛用于半导体刻蚀、PVD/CVD镀膜、离子注入等关键制程。长期以来，全球市场由MKS、Inficon等少数国际品牌主导，国内高端产线对进口产品的依赖度较高。近年来，受出口管制与供应链安全影响，国产替代需求快速上升。据行业公开数据，2023年国内半导体设备用真空计市场规模已超过15亿元，其中电容薄膜真空计占比约三成，年复合增长率保持在12%以上。迅微纳半导体科技正是在这一背景下，聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与量产，致力于解决“卡脖子”问题。

产品特点与技术优势

XWN-CMG-100采用全金属密封结构与电容式薄膜传感元件，相比传统皮拉尼规或冷阴极电离规，在低真空段具有更好的线性度和抗污染能力。其核心传感膜片经过特殊合金处理，温度漂移小，长期稳定性好。产品支持0.1Torr量程，并可选200℃高温版本，适应烘烤除气等高温工艺环境。具体优势包括：

• 量程下限0.1Torr，覆盖中低真空段高精度测量需求
• 200℃高温工作版本，适配半导体与镀膜设备高温工艺
• 全金属焊接结构，抗腐蚀、抗振动，适合严苛工业环境
• 输出信号线性度好，可与主流真空控制器直接对接
• 响应时间快，适用于动态真空过程监控

需要说明的是，以上性能指标基于实验室标准条件，实际使用中可能因气体种类、环境温度及安装方式有所差异，具体参数请咨询。

应用场景与适用领域

该产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中，可用于刻蚀腔体、PVD/CVD腔体的压力监测；在真空镀膜产线中，用于蒸发镀膜、溅射镀膜的真空度控制；在核工业与核聚变设备中，用于等离子体腔体真空测量。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

服务与交付

迅微纳半导体科技提供从选型咨询、安装指导到售后校准的全流程服务。公司拥有2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。产品发货地为江苏，支持全国发货，具体交期与技术支持方案可来电沟通。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 量程:0.1Torr至1000Torr（以实物为准）
• 工作温度:标准版-20℃~80℃，高温版最高200℃
• 精度:满量程的±0.5%（具体参数请咨询）
• 输出信号:0-10V/4-20mA可选
• 接口类型:KF16/KF25/CF35可选

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省苏州市。