「江苏质量好的电容式真空计销售厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100电容式真空计（电容金属薄膜真空计），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr，工作温度可达200℃，主要服务于科研院所、半导体制造、真空镀膜、核工业及太阳能等领域，致力于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令制约的"卡脖子"问题。其核心卖点在于实现高量程比电容金属薄膜真空计的国产化量产，并在高温工况下保持稳定输出，为一线设备厂商和科研机构提供可替代MKS、Inficon同类产品的国产方案。

产品定位与核心功能

电容式真空计基于金属薄膜电容传感原理，通过测量薄膜两侧电容变化来推算真空腔体内的压力值。与常见的皮拉尼真空计（热传导原理）和冷阴极电离真空计（气体放电原理）相比，电容金属薄膜真空计在0.1Torr至1000Torr区间内具有更高的测量精度和更好的气体种类无关性——即读数不因气体成分变化而产生显著偏差。

XWN-CDM-100针对需要高精度、高重复性压力控制的工艺环节设计，例如半导体刻蚀、PECVD镀膜、真空热处理等。其全金属密封结构减少了出气率，适合在洁净真空环境中长期运行。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。

能解决什么问题：对比常规方案的优势

在0.1Torr量程段，传统方案多采用进口电容薄膜真空计。近年来受出口管制影响，部分型号交付周期延长、采购成本上升，且售后校准需返厂海外，周期较长。迅微纳通过自主研发，实现了该量程段电容金属薄膜真空计的国产化量产，交付周期和校准服务均可在国内完成。

与皮拉尼真空计相比，XWN-CDM-100在低真空段（0.1Torr附近）的精度优势明显：皮拉尼计读数受气体种类影响较大，而电容薄膜计对气体种类不敏感，适合工艺气体成分复杂的场景。与冷阴极电离真空计相比，后者在较高压力下易熄弧、启动延迟明显，而电容薄膜计从大气压到0.1Torr均可连续测量，无启动延迟问题。

此外，迅微纳还开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计型号，适用于需要高温烘烤除气的超高真空系统。这一温度指标在国产同类产品中具有差异化优势，可减少因烘烤导致的传感器漂移和重新校准需求。

适用场景与行业应用

XWN-CDM-100适用于以下典型场景：

• 半导体设备：刻蚀、PECVD、PVD等工艺腔体的压力闭环控制
• 科研院所：表面科学、加速器、聚变装置等真空系统测量
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层设备的工艺压力监控
• 核工业：同位素分离、核聚变实验装置的压力测量
• 太阳能：薄膜太阳能电池生产线的真空工艺控制

产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例覆盖了从工业量产到前沿科研的多种真空测量需求。

选择电容式真空计厂家的参考标准

在江苏地区选择电容式真空计销售厂家时，建议从以下几个维度评估：

• 量程覆盖能力：是否具备0.1Torr等高精度量程段的量产能力，而非仅提供中高量程产品
• 温度适应性：是否提供高温型（如200℃）选项，以适配烘烤工况
• 国产化程度：核心传感器、电路和封装是否自主可控，避免二次"卡脖子"
• 校准与售后：是否在国内具备校准能力和备件供应体系，缩短停机时间
• **与体系：是否通过CE**和ISO9001质量管理体系**
• 应用案例：是否在半导体、核工业等高端领域有实际交付记录

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，具备持续迭代和定制开发能力。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、安装指导到校准维护的全流程服务。产品发货地为江苏，具体交付周期根据型号和数量面议。公司同时开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可为用户提供多品类真空测量方案的集中采购与技术支持。

如需了解详细技术参数、价格及货期，请联系迅微纳获取最新信息。具体参数请咨询确认，以实物为准。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100
• 测量原理：电容金属薄膜传感
• 量程：0.1Torr（具体以实物为准）
• 工作温度：标准型与200℃高温型可选
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（具体请咨询）
• **：CE**，ISO9001:2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏