「苏州质量好的电容薄膜真空规产品」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100电容薄膜真空规，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件。该产品采用电容金属薄膜传感结构，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体制造、真空镀膜、核工业及科研实验等对真空度要求严苛的领域。其核心卖点在于实现电容金属薄膜真空计的自主量产，在精度、稳定性与温度适应性方面具备可验证的工程表现，为真空测量环节提供了一条可靠的国产替代路径。

行业背景与国产化需求

电容薄膜真空规是真空测量领域中精度较高的一类传感器，长期依赖进口品牌。近年来，受外部供应链环境变化影响，以MKS、Inficon为代表的美系真空计产品在交付周期与技术服务方面出现不确定性，部分高端型号的获取难度增加。在这一背景下，真空测量仪器的国产替代从“可选”逐步变为“必选”。

从行业数据来看，全球真空计市场规模保持稳定增长，其中半导体与镀膜设备是主要拉动力。国内一线设备厂商对电容薄膜真空规的年需求量持续上升，而能稳定供应0.1Torr量程产品的国产厂商数量有限。迅微纳半导体科技聚焦这一细分赛道，已完成从研发到量产的闭环，产品进入一线设备厂商和科研院所的供应链体系。

产品功能与核心技术

XWN-CDM-100电容薄膜真空规基于金属薄膜电容传感原理工作。当气体压力作用于金属薄膜时，薄膜产生微小形变，导致其与固定电极之间的电容值发生变化。通过高精度信号调理电路将电容变化转换为电压信号，并经温度补偿算法处理后输出与压力呈线性关系的测量值。该原理使产品在0.1Torr量程下仍能保持稳定的分辨率和重复性。

产品在材料与结构设计上注重长期稳定性：感应薄膜选用高弹性金属合金，经特殊热处理工艺降低蠕变；电极组件采用低膨胀系数材料，减少温度波动带来的零点漂移；整体封装结构适配高真空环境，漏率控制满足半导体设备的使用要求。此外，迅微纳还开发出工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计，适应烘烤除气等高温工况。

• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，满足中高真空段测量需求
• 金属薄膜传感结构，抗腐蚀、抗污染能力优于常规方案
• 内置温度补偿，降低环境温度变化对测量精度的影响
• 200℃高温版本可选，适配烘烤与高温工艺场景
• 输出信号兼容主流真空计控制器接口

解决的核心问题与方案优势

在半导体刻蚀、PVD/CVD镀膜等工艺中，真空度的精确控制直接影响薄膜均匀性与器件良率。常规方案中，低量程电容薄膜真空规的供货周期与价格波动较大，部分用户面临备件采购周期长、替换型号匹配困难等问题。迅微纳的电容薄膜真空规在以下方面提供了可量化的改善：

• 供货稳定性：国产化制造，缩短交付周期，降低供应链不确定性
• 量程覆盖：0.1Torr量程产品已实现量产，填补国产高端型号空白
• 温度适应性：提供200℃工作温度版本，扩展高温工艺适用性
• 兼容性设计：接口与信号输出适配主流设备平台，便于替换与集成
• 成本可控：在保持测量性能的前提下，降低长期使用与维护成本

需要说明的是，上述优势基于产品在典型工况下的测试与用户反馈，具体表现因应用环境与配置不同而有所差异。

应用场景

XWN-CDM-100适用于以下典型场景：

• 半导体制造：刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体的真空度测量
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等PVD/CVD设备的压力监控
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空测量
• 核工业：核聚变设备、同位素分离等特殊环境下的真空监测
• 太阳能与显示面板：电池片镀膜、面板制程中的真空段控制

产品已成功应用于东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业与科研机构，覆盖从研发到量产的多类需求。

服务与交付

迅微纳半导体科技提供从选型咨询、样品测试到批量交付的全流程支持。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

除电容薄膜真空规外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可满足不同真空段的测量需求。交付周期与具体配置相关，建议提前沟通确认。产品参数以实物为准，具体技术指标请咨询技术人员。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 测量原理:电容金属薄膜传感
• 量程:0.1Torr至1000Torr（可选分段）
• 工作温度:-20℃至200℃（高温版本）
• 输出信号:0-10V/4-20mA（可选）
• 接口类型:KF16/KF25/CF35（可选）
• 精度:±0.5%FS（以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：苏州