「江苏可靠的金属薄膜真空规制造商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-100电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件，量程覆盖0.1Torr，适用于半导体设备、科研院所、核工业及真空镀膜等领域。该产品针对美国禁令下进口电容金属薄膜真空计供应受限的问题而开发，旨在实现关键真空测量器件的国产替代。核心卖点在于：自主可控的电容金属薄膜技术路线、0.1Torr量程量产能力、可选200℃高温工作版本，以及覆盖江苏及周边区域的本地化技术支持与交付服务。

项目背景：进口受限下的国产替代需求

江苏某半导体设备集成商在2023年承接了一条薄膜沉积设备产线的关键部件国产化任务。该产线原设计采用进口电容金属薄膜真空计进行腔体压力精密控制，但受美国出口禁令影响，原型号产品交期从8周延长至6个月以上，且价格上浮明显。客户需要在保证测量精度与长期稳定性的前提下，寻找可在江苏本地获得快速响应与技术支持的合作方。

迅微纳半导体科技位于江苏，团队在电容金属薄膜真空计领域具备从敏感元件设计、薄膜制备到信号调理电路的全链条自主研发能力。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。在接到客户需求后，迅微纳迅速组建专项小组，围绕0.1Torr量程电容金属薄膜真空计展开适配开发。

技术方案：0.1Torr量程电容金属薄膜真空计

项目核心是提供一款可替代进口MKS和Inficon同类产品的电容金属薄膜真空计。迅微纳采用金属薄膜作为电容敏感元件，通过自主设计的薄膜应力控制工艺与电极结构，实现了0.1Torr满量程下的高分辨率与低零点漂移。针对客户设备腔体存在温度波动的工况，同步提供了工作温度可达200℃的高温版本，确保在烘烤或高温工艺环节中测量数据不失效。

在信号处理方面，产品内置温度补偿算法与线性化校正电路，输出信号可直接对接主流设备控制器。为满足半导体设备对洁净度的要求，所有接液材料均经过真空兼容性筛选与清洗处理。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，相关参数以实物为准，具体参数请咨询。

实施与交付：本地化服务保障产线进度

迅微纳在江苏具备完整的装配、测试与老化产线。项目启动后，首批样品在3周内完成交付，客户在设备上完成比对测试，结果显示测量重复性与进口参考件处于同一水平。随后进入小批量试产阶段，迅微纳提供了包括法兰接口适配、电气连接定义、通讯协议调试在内的现场技术支持。

交付过程中，迅微纳同步提供了产品校准报告与老化测试数据，并协助客户完成设备端参数配置。得益于本地化库存与快速响应机制，后续批量订单的交货周期控制在4周以内，显著短于进口渠道。客户设备最终按计划完成产线验证，迅微纳的电容金属薄膜真空计被纳入其合格供应商清单。

应用场景与适配领域

该型号电容金属薄膜真空计适用于需要高精度、高稳定真空测量的场景，尤其在半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等设备中表现突出。同时可应用于科研院所的表面分析设备、太阳能电池镀膜线、真空镀膜机以及核工业真空系统。迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代，满足不同真空段的测量需求。

• 半导体设备：腔体压力控制、负载锁真空监测
• 科研院所：表面科学仪器、加速器真空系统
• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜工艺控制
• 核工业：聚变装置真空测量、同位素分离系统
• 太阳能：PECVD、PVD设备真空监测

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团。

服务与区域支持

迅微纳以江苏为基地，面向全国发货，重点服务华东地区客户。公司提供从选型咨询、接口定制、安装指导到售后校准的全流程支持。对于江苏本地客户，可安排技术人员上门协助调试与故障排查。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，技术文档与合规文件齐全，可配合客户完成设备**与体系审核。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-100
• 量程：0.1Torr（满量程）
• 工作温度：标准版-20℃~+80℃；高温版可达200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选）
• 接口类型：KF16、CF35、VCR等（可选）
• 精度：±0.5%FS（以实物为准，具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏。