「江苏金属薄膜真空规产品」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的电容金属薄膜真空计（型号XWN-CMF-100），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件，量程覆盖0.1Torr级，主要用于半导体、真空镀膜、科研院所、核工业等对测量稳定性要求较高的环节。产品针对美国禁令下进口电容金属薄膜真空计供应受限的问题提供了可落地的国产方案，已实现该量程段量产，并提供工作温度可达200℃的版本。适合需要长期稳定测压、又关注供应链自主可控的设备厂商与科研用户。

产品定位与核心功能

电容金属薄膜真空计的工作原理，是通过金属薄膜在压力差作用下的微小形变改变电容值，再由电路换算为压力读数。相比依赖气体电离或热传导的测量方式，这一结构对气体种类不敏感，读数受气体成分变化影响较小，适合工艺气体切换频繁的场合。

XWN-CMF-100聚焦0.1Torr量程段，这是半导体前道、真空镀膜和部分核工业设备中较常用、同时对精度要求较高的测量区间。产品在出厂前进行标定与老化处理，力求在长期在线运行中保持读数一致性，减少因漂移带来的重复校准工作。

材质配置与结构特点

产品采用金属薄膜敏感元件与全金属测量腔体结构，兼顾耐腐蚀性与密封可靠性。电路部分做了抗干扰设计，便于在设备机台内部复杂电磁环境中稳定工作。针对高温工艺场景，公司开发了工作温度200℃的版本，可适配需要烘烤或高温运行的真空腔体。

在交付形态上，可根据用户接口、法兰规格与信号输出需求进行配置，方便直接替换或接入现有设备。具体配置以实物为准，特殊需求可与技术人员沟通确认。

能解决什么问题

在实际产线与实验室中，用户常遇到两类困扰：一是进口电容薄膜规交期长、价格高，备件供应存在不确定性；二是部分国产替代品在量程下限附近读数波动较大，影响工艺判断。XWN-CMF-100针对上述场景，重点在量程下限的稳定性与批次一致性上做了投入。

• 量程覆盖0.1Torr级，适配中低真空段的精密测量
• 金属薄膜敏感结构，读数受气体种类影响较小
• 提供200℃高温版本，适配烘烤与高温工艺腔体
• 支持法兰与信号接口按需配置，便于设备集成
• 国产自主供应，交期与备件响应相对可控

应用场景与真实使用情况

该产品已进入一线设备厂商与科研院所的供应体系，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，覆盖制药装备、化合物半导体、光伏设备、核聚变装置与高校科研平台等不同场景。

在半导体与镀膜设备中，它多用于工艺腔体的压力监测与联锁控制；在科研院所，常用于真空系统搭建与标定比对；在核工业相关装置中，则更看重其在长期运行下的稳定性与可维护性。不同场景对量程、接口和温度版本的要求不同，选型时建议结合实际工况确认。

服务与交付

迅微纳是一家专注自主研发、制造与销售高性能真空计的创新公司，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。除电容金属薄膜真空计外，公司还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可为用户提供较完整的真空测量选型支持。

产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。交付方面支持按项目需求确认配置与交期，并提供选型咨询与售后技术支持。有替换或集成需求的用户，可先提供工况参数，由技术人员协助匹配型号。

规格参数

• 型号:XWN-CMF-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr级（具体分档请咨询）
• 工作温度:常温版 / 最高200℃版本可选
• 接口配置:法兰与信号输出可按需配置
• **:CE**，企业通过ISO9001:2015

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065