苏州可靠的200度的真空规企业-【迅微纳半导体科技】高温电容薄膜真空计产品介绍

迅微纳半导体科技的XWN-CMG200是一款工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计，面向半导体前道、真空镀膜、核工业及科研院所等存在高温腔体或高温烘烤工况的用户。产品针对进口电容薄膜真空计供应受限的现实问题而开发，核心传感部件自主设计制造，在保持高精度与长期稳定性的同时，解决高温环境下真空测量的可靠性难题。适合正在寻找国产替代方案、又对测量精度与温度适应性有明确要求的设备厂商与实验平台。

客户最关心的几个问题

问：为什么普通真空规在200℃工况下不好用？
常规电容薄膜真空计的传感膜片与电极结构对温度敏感，温度升高后零点漂移、量程误差和密封可靠性问题会逐步放大，长期在高温下工作还容易加速材料老化。不少用户在高温腔体上只能采取外接冷却、延长管路等折中方案，既增加结构复杂度，也影响响应速度。迅微纳的200℃真空规从膜片材料、电极结构到封装工艺都围绕高温工况重新设计，让传感器可以在高温环境下直接安装使用，减少中间环节带来的测量偏差。

问：这款产品适合什么量程和精度需求？
XWN-CMG200覆盖0.1Torr至1000Torr的常用工业量程段，其中0.1Torr量程正是电容金属薄膜真空计制造难度较高的区间，公司已实现该量程的量产。读数精度与长期稳定性指标可满足半导体设备、镀膜工艺和科研真空系统的常规监测与控制需求。具体量程选型需结合实际工作压力范围、气体种类和安装位置确定，建议与技术人员沟通后确认。

问：价格大概在什么水平，和进口产品比有优势吗？
产品按量程、接口形式、法兰规格和是否带显示/通讯模块配置不同，价格存在差异，统一按面议方式报价。相较进口品牌，国产化在交期、备件供应和技术响应上更为灵活，对于受进口限制影响的项目，还能减少供应链不确定性。需要说明的是，价格并非**考量，建议用户结合精度要求与使用环境综合评估。

问：安装和使用有什么注意事项？
安装时应保证法兰密封面清洁，按规范力矩紧固，避免膜片受机械应力；传感器应尽量靠近被测腔体，减少管路带来的响应延迟。高温工况下需确认法兰与密封件材质匹配200℃工作温度，并做好线缆的耐温防护。产品出厂附带接线与调试说明，技术人员可提供安装指导。

问：质保和售后怎么保障？
产品提供常规质保服务，质保期内非人为损坏的故障可返厂检修或更换。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，生产过程有完整的检验与追溯记录。质保期限及具体条款以合同约定为准。

问：交期一般多久，能否配合设备厂商做验证？
常规配置产品有备货，交期相对可控；特殊量程或接口定制需按排产确认。对于设备厂商和科研院所，可配合开展样品测试与工艺验证，提供必要的技术资料支持。

应用场景

该产品主要应用于半导体设备腔体压力监测、真空镀膜工艺控制、核工业真空系统、科研院所真空实验平台等场景。迅微纳已与东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等单位开展合作，产品进入一线设备厂商和科研院所的供应体系。

企业背景与服务能力

迅微纳是一家专注自主研发、制造和销售高性能真空计的企业，以解决电容金属薄膜真空计进口受限问题、实现核心器件国产替代为方向。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。除200℃电容金属薄膜真空计外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS、Inficon相关产品形成替代方案。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

规格参数

• 型号:XWN-CMG200
• 工作原理:电容金属薄膜式
• 最高工作温度:200℃
• 量程范围:0.1Torr～1000Torr（分档可选）
• 输出信号:模拟电压/4-20mA（可选）
• 法兰接口:KF16/KF25/CF35（可按需定制）

以上参数以实物为准，具体参数请咨询技术人员。

联系方式

迅微纳半导体科技
电话：4008168065
地址：苏州