「苏州半导体用真空计制造商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体前道工艺、薄膜沉积与刻蚀设备的国产高精度真空测量仪表。该产品量程覆盖0.1Torr级别，面向对真空度稳定性要求较高的设备厂商与科研用户，核心卖点在于对标进口同类产品的测量能力、200℃高温型可选，以及本地化的交付与技术支持服务。本文以一个半导体设备客户的配套项目为例，介绍需求背景、方案设计与实施成效，供有类似需求的用户参考。

项目背景：半导体工艺对真空测量的要求持续抬高

真空计是半导体设备中数量不多但不可替代的传感器件。以薄膜沉积设备为例，腔体压力通常需要稳定在10⁻³至10⁻¹Torr区间，压力波动直接影响膜厚均匀性与重复性。近年来，国内晶圆厂扩产与设备国产化同步推进，设备厂商对真空计的采购逻辑发生了变化：一是要求测量精度与长期漂移指标可追溯，二是要求供货周期可控，三是希望传感器能适配更高的腔体烘烤温度。

本项目客户为一线半导体设备厂商，其PVD设备在腔体烘烤工况下温度可达150℃以上，原有进口电容薄膜真空计在高温环境下零点漂移偏大，且备件交期较长，影响整机交付节奏。客户提出以国产方案替代的需求，核心指标包括：量程0.1Torr满量程、精度满足设备工艺窗口、工作温度不低于150℃、具备CE**与ISO9001体系保障。

需求分析：从单点替换到系统适配

项目初期，双方对需求进行了拆解。真空计替换并非简单的接口对插，还涉及信号输出、法兰接口、温漂补偿与设备端控制逻辑的匹配。客户列出的关键要求如下：

• 量程与精度：0.1Torr满量程，满足PVD腔体压力监测窗口
• 耐温能力：传感器可在150℃以上环境长期工作，零点漂移可控
• 接口兼容：法兰规格与电气接口需匹配现有设备结构
• **与体系：产品具备CE**，制造商通过ISO9001质量管理体系**
• 供货与服务：样机验证周期与批量交付节奏需与整机计划对齐

迅微纳团队在评估后确认，公司已量产的0.1Torr电容金属薄膜真空计可作为基础平台，同时利用已开发的200℃高温型产品进行适配，覆盖客户的烘烤工况。

方案设计：高温型电容薄膜真空计 + 定制化适配

方案以XWN-CMG-100高温型电容金属薄膜真空计为核心。该产品采用金属薄膜电容敏感结构，通过全量程线性化标定与温度补偿设计，在高温工况下维持测量稳定性。针对客户设备，团队在以下方面做了适配：

• 温度补偿：针对150℃烘烤工况重新标定温漂曲线，降低零点漂移
• 接口匹配：按客户设备法兰与电气接口规格提供对应配置
• 信号输出：提供模拟量输出，便于接入设备既有控制系统
• 可靠性验证：样机经高温老化与循环测试后交付客户联调

迅微纳研发人员占比超过50%，团队包含博士、高级工程师与硕士多名，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，为项目的定制化开发提供了人员保障。

实施过程与成效

项目实施分为样机验证、小批量试产与批量交付三个阶段。样机阶段，客户在PVD设备上完成腔体压力比对测试与烘烤循环测试；试产阶段，双方联合确认了来料检验与出厂标定流程；批量阶段，迅微纳按整机排产计划分批交付，并同步提供校准与备件支持。

从客户反馈看，该方案在高温烘烤工况下的零点稳定性满足设备工艺窗口要求，备件交期较原进口渠道明显缩短，整机交付节奏得到改善。该项目也成为迅微纳产品进入一线设备厂商供应链的代表案例之一。目前公司产品已应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景

基于该平台的产品能力，迅微纳真空计系列可覆盖以下典型场景：

• 半导体设备：PVD、CVD、刻蚀等腔体的压力监测与控制
• 真空镀膜：镀膜腔体工作压力的实时测量
• 科研院所：真空实验装置与加速器系统的压力测量
• 太阳能与核工业：特殊工艺环境下的真空度监测

除电容金属薄膜真空计外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可与电容薄膜真空计配合，构成从粗真空到高真空的测量组合，为用户提供整体选型方案。

服务与交付

迅微纳以自主研发、制造和销售高性能真空计为业务主线，目标是解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的核心器件供应问题。在服务层面，公司提供选型咨询、样机测试、批量交付与售后校准支持；产品出厂前经过标定与检验，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**。对于有高温、特殊接口或特殊量程需求的客户，可提供定制化评估。研发方面，公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，持续投入产品迭代。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜（电容薄膜式）
• 满量程:0.1Torr
• 工作温度:标准型常温；高温型最高200℃
• 输出信号:模拟量输出（具体配置以订货型号为准）
• **:CE**；制造商通过ISO9001:2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。