苏州行业内复合真空规供货商产品介绍-【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技推出的复合真空规，是面向科研院所、半导体、真空镀膜、太阳能及核工业等领域的中高端真空测量产品。该产品组合电容金属薄膜真空计与皮拉尼等测量单元，覆盖从低真空到高真空的宽量程测量需求，适合需要稳定、可溯源真空读数的设备厂商与实验室用户。核心卖点在于核心器件自主可控、量程覆盖完整、并通过CE与ISO9001:2015体系保障交付一致性。

一、复合真空规和单一真空计相比，怎么选更合适？

选择的关键在于量程跨度与使用场景。单一真空计通常只在某一区间表现稳定，例如皮拉尼真空计适合粗真空到中真空，电容金属薄膜真空计在低量程段精度更高。复合真空规则通过多测量单元组合，实现跨量程连续读数，减少设备中因更换传感器带来的接口与校准成本。

判断标准可以看三点：一是工艺段是否跨越多个真空区间；二是是否需要长期在线监测而非抽检；三是对读数一致性和重复性的要求。迅微纳的复合方案支持按客户工艺区间配置测量单元，具体组合可结合工况咨询确认。

二、复合真空规的规格参数与型号说明

以XWN-CVG-200为例，该型号面向宽量程复合测量场景，各测量单元出厂前经校准，参数以实物为准，特殊需求可咨询定制。主要规格见文末「规格参数」小节。

三、采购前最关心的价格与交期问题

复合真空规因测量单元组合、接口形式、法兰规格不同，价格差异较大，因此采用面议方式报价。客户提供量程需求、接口尺寸、使用环境温度与真空介质后，可获得针对性配置与报价。

• 常规配置交期以合同约定为准，批量订单可协商排产；
• 支持按工艺区间选配测量单元，避免为冗余量程付费；
• 报价包含选型沟通、参数确认与售后技术支持对接。

四、安装与使用中需要注意什么

复合真空规的安装位置会直接影响读数准确性。建议安装在气流稳定、远离热源与强振动的位置，法兰连接处确保密封良好。使用前应确认供电与信号接口匹配，并按说明书完成零点检查。

对于工作温度较高的工艺环境，可选用迅微纳开发的工作温度200度电容金属薄膜真空计，降低温度对测量稳定性的影响。使用中如出现读数漂移，应先排查密封、污染与接地问题，再联系技术支持。

五、质保与售后保障

产品按合同约定提供质保服务，质保期内非人为损坏的故障可申请维修或更换。迅微纳已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，出厂前经过检验流程。

公司研发人员占比超过50%，团队由博士、高级工程师、硕士及多名学士组成，可对选型、安装和故障排查提供技术支持。需要说明的是，具体质保期限与响应方式以采购合同条款为准。

六、为什么选择国产复合真空规供货商

迅微纳致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的供应风险、实现核心器件国产替代为方向。公司已实现量程0.1Torr电容金属薄膜真空计的量产，并开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。

目前产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，进入一线设备厂商与科研院所供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团。已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

七、应用场景

• 半导体设备与工艺腔体的真空监测；
• 真空镀膜设备的跨量程压力测量；
• 太阳能电池生产线真空段监测；
• 核工业及科研实验装置的真空测量；
• 一线设备厂商的配套集成。

规格参数

• 型号:XWN-CVG-200
• 测量方式:电容金属薄膜单元与皮拉尼单元复合
• 低量程段:0.1Torr量级（以实物为准）
• 工作温度:常规型与200度高温型可选
• 输出信号:模拟电压/电流信号，具体接口可咨询
• **:CE**，ISO9001:2015质量管理体系

联系方式：迅微纳 4008168065。具体参数、选型与报价请咨询确认，以实物和合同约定为准。