「苏州专业的金属薄膜真空计优质厂家」-「迅微纳半导体科技」

本文以某高校真空科研平台的金属薄膜真空计替换项目为主线，介绍迅微纳半导体科技在电容金属薄膜真空计领域的方案设计与交付情况。该产品适用于科研院所、半导体设备、真空镀膜、核工业等对低量程真空测量有稳定要求的场景，核心特点为国产自主研发、覆盖0.1Torr量程、可提供200℃工作温度版本，并配套皮拉尼、冷阴极电离与真空开关等系列产品。

项目背景：低量程真空测量需求持续增长

真空计是真空系统中确定压力水平的基础仪表。从行业结构看，薄膜沉积、刻蚀、离子注入、真空热处理、加速器与核聚变装置等环节，都需要在10⁻³Torr至大气压区间内进行稳定测量。其中电容金属薄膜真空计因采用金属薄膜感应压力形变，具有对气体种类不敏感、长期漂移较小的特点，在0.1Torr至1000Torr量程段被广泛采用。

过去较长一段时间，国内该量程段的高端产品较多依赖进口品牌，供货周期与售后响应受外部因素影响明显。随着半导体设备与科研装置国产化推进，用户对本地化供应、参数可追溯、校准服务及时性的要求逐步提高。迅微纳半导体科技正是在这一背景下，聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与量产，目标是实现核心器件的国产替代。

项目需求：科研平台的替换与验证

本次项目用户为某高校真空科研平台，其镀膜与测试腔体原使用进口电容薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr至1000Torr。用户提出三点需求：一是替换后测量稳定性与原设备相当，能支持长时间抽气与充气循环；二是供货与校准周期可控，出现问题能快速响应；三是希望在同一供应商处配齐皮拉尼真空计与真空开关，减少多品牌混用的兼容问题。

用户同时对安装接口、电气连接与上位机读数方式提出要求，希望替换过程不影响现有真空系统的密封与联锁逻辑。

实施方案：以CMG系列为核心的系统配置

迅微纳技术团队根据腔体工作压力区间与工艺气体环境，推荐以XWN-CMG100电容金属薄膜真空计作为主测量单元，量程0.1Torr，满量程输出信号为0-10V，配KF16或CF35接口可选，兼容常见真空法兰。对于靠近烘烤区域的位置，提供工作温度200℃版本，减少温度对零点的影响。

辅助测量采用皮拉尼真空计覆盖粗真空段，高真空段配置冷阴极电离真空计，联锁与控制回路采用真空开关实现设定点输出。整套方案由同一供应商提供，接口与信号定义统一，便于用户集中维护。

• 主测量单元：电容金属薄膜真空计，量程0.1Torr
• 高温版本：工作温度可达200℃
• 辅助单元：皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关
• 输出信号：0-10V模拟输出，可选数字通讯
• 法兰接口：KF16/CF35可选，以实物为准

交付与成效：从安装到稳定运行

项目按用户停机窗口安排交付。设备到货后由迅微纳工程师配合完成法兰安装、零点校准与信号联调，并对用户操作人员进行读数与日常维护说明。替换完成后，腔体在多次抽气—充气循环中读数重复性满足用户工艺记录要求，联锁逻辑运行正常。

用户反馈的主要改善在于供应与服务环节：备件与校准不再依赖长周期进口流程，技术沟通可直接对接研发团队。该平台后续又将同类配置推广至另一台测试设备，形成批量替换。此类案例也说明，在科研与设备制造领域，国产真空计已具备进入一线设备厂商与科研院所的条件。迅微纳产品目前已应用于东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等单位的相关场景。

应用场景

电容金属薄膜真空计的典型应用包括：半导体薄膜沉积与刻蚀设备的压力控制、真空镀膜腔体测量、科研装置的高精度压力监测、核工业与聚变设备的真空系统，以及需要气体种类无关测量的计量与校准场景。对于工作温度较高的烘烤或加热腔体，可选用200℃版本。具体选型需结合量程、气体环境、法兰接口与信号要求确定，具体参数请咨询。

服务与质量保障

迅微纳由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。公司提供选型支持、安装调试配合与售后校准服务，联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。

规格参数

• 型号:XWN-CMG100
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:0.1Torr
• 工作温度:标准版常温型，高温版可达200℃
• 输出信号:0-10V模拟输出，可选数字通讯
• 接口:KF16/CF35可选，以实物为准