「江苏质量好的0.1mTorr真空规产品」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-0.1T电容金属薄膜真空规，是一款量程覆盖0.1mTorr（约0.013Pa）的高精度真空测量产品，专为半导体制造、真空镀膜、核工业及科研实验等对低压段测量稳定性要求较高的场景设计。该产品基于电容金属薄膜传感原理自主研发，致力于在核心真空测量器件领域实现国产化替代，适合需要长期稳定监测高真空环境的设备厂商与科研用户。核心卖点在于：0.1Torr满量程金属薄膜电容结构、200℃高温工作版本可选、CE**与ISO9001体系保障，以及覆盖皮拉尼、冷阴极电离、真空开关等系列产品的配套能力。

客户面临的真空测量痛点

在半导体薄膜沉积、离子注入、真空镀膜等工艺中，0.1mTorr至1Torr区间的真空度直接关系到薄膜均匀性、附着力与器件良率。然而，这一量段的测量长期面临几个现实问题：一是传统皮拉尼规在低压段灵敏度下降，读数易受气体种类影响；二是冷阴极电离规在0.1mTorr附近启动特性不稳定，且在高压力下存在放电风险；三是进口电容薄膜规虽然精度较高，但受国际供应链波动影响，交期与售后存在不确定性，部分型号甚至面临出口管制。

迅微纳正是针对上述问题切入研发。公司聚焦电容金属薄膜真空计的自主设计与制造，将金属薄膜电容传感结构与信号调理电路进行系统级优化，使XWN-CMG-0.1T在0.1mTorr低压段仍能保持稳定的电容-压力线性响应，减少因规管漂移导致的重复校准需求。

产品特点与技术方案

XWN-CMG-0.1T采用全金属密封传感腔体，感压膜片为高弹性合金材料，经真空退火与老化处理，降低长期使用中的蠕变与零点漂移。电路部分采用低噪声激励与相敏解调方案，输出信号与压力呈良好线性关系，便于设备集成与数据采集。

• 量程覆盖：0.1mTorr至1000Torr（多量程可选，以实物为准）
• 传感原理：电容金属薄膜结构，金属密封腔体
• 工作温度：标准版常温型，高温版支持200℃
• 输出方式：0-10V模拟输出，可选RS485数字通讯
• 电气接口：DB15或航空插头，适配主流设备接口
• **情况：CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

相比常规皮拉尼与冷阴极方案，电容薄膜规的优势在于测量结果与气体种类无关，在0.1mTorr附近仍具备良好的分辨率和重复性。迅微纳在此基础上进一步优化了膜片应力控制与温度补偿算法，使产品在环境温度波动时保持较低的零点温漂。对于需要高温烘烤除气的应用场景，公司还开发了工作温度200℃的电容金属薄膜真空计版本，可在烘烤工况下直接使用，减少因规管耐温不足而额外加装隔离阀的复杂度。

适用场景与行业应用

该产品适用于需要精确监测0.1mTorr至1Torr区间的真空工艺环节，典型场景包括：

• 半导体设备：PVD/CVD镀膜、刻蚀、离子注入等工艺腔体压力监测
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜设备的真空度控制
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空测量
• 核工业：聚变装置真空系统、同位素分离设备的过程监测
• 太阳能与显示面板：薄膜沉积产线的真空规配套

目前迅微纳产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。在知识产权方面，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口适配到售后校准的技术支持。产品出厂前经过逐台老化和标定，附校准数据。对于设备厂商的批量需求，可配合进行接口定制与通讯协议适配。公司具备电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等多品类供应能力，可为客户提供真空测量方案的集中配套，减少多品牌采购带来的兼容性调试成本。

具体参数、量程配置及高温版本选型请咨询技术人员确认。产品参数以实物为准，不同批次可能存在合理范围内的差异。

规格参数

• 型号：XWN-CMG-0.1T
• 量程：0.1mTorr至1000Torr（多量程可选，以实物为准）
• 传感原理：电容金属薄膜
• 工作温度：常温版/200℃高温版可选
• 输出信号：0-10V模拟输出，可选RS485
• **：CE**，ISO9001:2015质量管理体系

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省