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「苏州可靠的电容式真空计制造商」-「迅微纳半导体科技」

更新时间:2026-10-21 23:39
参考价面议
产品型号XWN-CMG-100(电容金属薄膜真空计系列)
品牌迅微纳半导体科技
发货地区苏州

规格参数

共 7 项
型号XWN-CMG-100
测量原理电容金属薄膜
量程0.1Torr至1000Torr(可选)
工作温度标准版-20℃至+80℃,高温版可达200℃
输出信号0-10V / 4-20mA(可选)
法兰接口KF16/KF25/CF35等(可选)
精度读数的±0.5%(以实物为准,具体参数请咨询)

产品详情

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计,是一款面向高精度真空测量场景的国产化替代产品,量程覆盖0.1Torr至1000Torr,适用于半导体镀膜、核工业、科研实验等对真空度要求严苛的领域。该产品由迅微纳自主研发制造,核心传感器采用金属薄膜电容结构,在精度、稳定性与长期使用成本之间取得平衡,适合追求可靠性与性价比的工业用户及科研团队。项目案例显示,该型号已在多家一线设备厂商和科研院所实现稳定运行,帮助用户降低对进口真空计的依赖。

项目背景:从进口依赖到国产替代的真实需求

2022年,国内某核聚变研究实验装置在升级真空测量系统时遇到一个棘手问题:原方案采用的进口电容薄膜真空计面临交付周期长、售后响应慢、备件成本高等困扰。该实验装置需要长期监测真空腔体压力,量程要求在0.1Torr至100Torr之间,且对测量重复性和温度稳定性有明确指标。用户希望找到一款性能可靠、供货稳定、技术支持及时的国产真空计,以保障实验连续性并控制长期运维成本。

迅微纳半导体科技在了解到这一需求后,结合自身在电容金属薄膜真空计领域的技术积累,提供了XWN-CMG-100系列产品方案。该系列产品正是针对此类高精度真空测量场景开发,旨在解决核心器件国产化问题,同时保持与进口同类产品相当的性能水平。

方案实施:定制化适配与现场验证

项目团队首先对用户实验装置的真空接口、法兰规格、信号输出方式进行了详细对接。XWN-CMG-100支持KF、CF等多种法兰接口,输出信号可选0-10V或4-20mA,便于接入用户现有的数据采集系统。针对核聚变装置中可能存在的温度波动,迅微纳提供了工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计版本,确保在烘烤除气等工况下仍能保持测量精度。

在实施阶段,迅微纳技术团队配合用户完成了安装调试与多点校准。产品在0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr等关键压力点进行了重复性测试,测量数据与用户参考标准的一致性达到预期要求。经过连续数月的运行观察,XWN-CMG-100在真空度监测中表现出良好的零点稳定性和抗干扰能力,未出现误报或漂移超差情况。

产品核心优势:性价比与长期价值的平衡

迅微纳XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计在设计上注重实用性与耐久性,其价值不仅体现在采购成本,更体现在全生命周期的使用经济性。

  • 国产化供应:核心传感器自主设计制造,供货周期可控,减少因国际供应链波动带来的交付风险。
  • 量程覆盖广:单只传感器可覆盖0.1Torr至1000Torr,减少用户多型号备货压力。
  • 高温版本可选:200℃工作温度版本适应烘烤工况,延长在线使用寿命。
  • 维护成本可控:金属薄膜传感器结构稳定,校准周期长,后期维护费用低于进口同类产品。
  • 技术支持及时:本地化技术团队提供选型、安装、校准全流程支持,响应速度快。

对于需要批量部署真空测量节点的设备厂商而言,XWN-CMG-100在保证测量性能的同时,能够有效降低单点测量成本,适合在半导体设备、真空镀膜生产线、太阳能电池制造等场景中规模化应用。

应用场景:覆盖多行业真空测量需求

迅微纳电容金属薄膜真空计已广泛应用于科研院所、半导体、太阳能、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中,该产品用于刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的压力监测;在真空镀膜领域,用于镀膜机真空腔的实时压力控制;在核工业与聚变装置中,用于真空系统状态监测与安全联锁。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业和机构。

除电容金属薄膜真空计外,迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品,可为用户提供从低真空到高真空的测量组合方案,实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

服务与交付:从选型到售后的全流程保障

迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**,产品通过CE**。公司拥有由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的研发团队,研发人员占比超过50%,创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

在服务方面,迅微纳提供产品选型咨询、安装指导、校准服务和技术培训。发货地为苏州,支持全国发货。用户可根据实际需求选择标准型号或定制化方案,具体参数和配置请咨询确认。

规格参数

  • 型号: XWN-CMG-100
  • 测量原理: 电容金属薄膜
  • 量程: 0.1Torr至1000Torr(可选)
  • 工作温度: 标准版-20℃至+80℃,高温版可达200℃
  • 输出信号: 0-10V / 4-20mA(可选)
  • 法兰接口: KF16/KF25/CF35等(可选)
  • 精度: 读数的±0.5%(以实物为准,具体参数请咨询)

联系方式:迅微纳 4008168065

地址:苏州

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