「江苏可靠的复合真空规企业」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是迅微纳半导体科技面向江苏及周边地区客户推出的复合真空规项目案例。该产品适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所等需要宽量程真空测量的场景，核心卖点在于电容金属薄膜与皮拉尼复合测量方案的国产化替代能力，以及本地化的快速交付与技术支持服务。

项目背景：江苏半导体设备厂商的真空测量需求

2024年，江苏一家从事半导体薄膜沉积设备制造的企业面临一个实际问题：其设备中使用的进口复合真空规交期延长、采购成本上升，且售后响应周期较长。该企业希望找到一家本地供应商，既能提供性能稳定的复合真空规，又能缩短供货周期、降低沟通成本。

复合真空规通常将电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计组合使用，前者负责高真空段的精确测量，后者覆盖低真空段，从而实现从大气压到高真空的连续监测。这类产品长期依赖进口品牌，国内具备量产能力的企业较少。迅微纳半导体科技正是聚焦这一领域，致力于自主研发和制造高性能真空计，推动核心器件的国产替代。

需求分析：宽量程、高精度与本地服务

该设备厂商的具体需求包括以下几点：

• 量程覆盖：需从1000Torr至1×10⁻⁸Torr连续测量，满足镀膜工艺不同阶段的真空度监控；
• 精度要求：高真空段（0.1Torr以下）测量精度需优于读数的±10%，以保证薄膜厚度均匀性；
• 响应速度：规管响应时间需在毫秒级，适应快速抽气与工艺切换；
• 本地服务：希望供应商位于江苏或周边，便于现场调试、校准与售后维护；
• 成本可控：在保证性能的前提下，采购成本较进口产品有明显优化。

迅微纳团队在接到需求后，结合自身在电容金属薄膜真空计领域的技术积累，提出了基于XWN-CVG-200C复合真空规的解决方案。

产品方案：XWN-CVG-200C复合真空规

XWN-CVG-200C是迅微纳半导体科技推出的一款复合真空规，将电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计集成于同一规管结构。电容金属薄膜部分采用金属薄膜电容传感技术，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，具备良好的长期稳定性；皮拉尼部分则覆盖1×10⁻³Torr至大气压范围，两者通过内部电路实现自动切换与信号输出。

该型号的工作温度范围为10℃至200℃，可适应高温烘烤工况。输出信号支持0-10V模拟电压与RS485数字接口，便于接入设备控制系统。规管接口采用KF16/KF25标准法兰，兼容主流设备接口。

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，以及皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。

实施与交付：本地化服务流程

项目启动后，迅微纳技术团队在两周内完成了样机选型与测试方案确认。由于客户位于江苏，团队安排了现场技术交流，针对设备真空腔体的接口位置、信号线布局和上位机通讯协议进行了对接。

首批产品交付后，迅微纳提供了以下服务：

• 现场安装指导与零点校准；
• 与设备PLC系统的联调支持；
• 操作人员培训，包括日常维护与故障排查；
• 质保期内免费校准服务，响应时间不超过48小时。

该设备厂商在完成首批测试后，将XWN-CVG-200C纳入其标准物料清单，后续采购周期缩短至2周以内，较此前进口产品的8-12周有明显改善。

应用场景与区域服务能力

复合真空规广泛应用于半导体制造、真空镀膜、太阳能电池、核工业及科研院所等领域。迅微纳的产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

作为江苏本地企业，迅微纳在区域服务方面具备以下特点：

• 本地库存：常用型号备有现货，缩短交货周期；
• 快速响应：江苏省内客户技术支持响应时间不超过24小时；
• 校准服务：提供本地校准与维修，减少设备停机时间；
• 定制化能力：可根据客户设备接口、通讯协议进行适配调整。

公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

规格参数

• 型号: XWN-CVG-200C
• 测量原理: 电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 量程: 1000Torr至1×10⁻⁸Torr（分段覆盖）
• 工作温度: 10℃至200℃
• 输出信号: 0-10V / RS485
• 接口法兰: KF16/KF25（可选）

具体参数请咨询，以实物为准。

联系方式

迅微纳半导体科技

电话：4008168065

地址：江苏省