「苏州替代MKS的金属薄膜真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF系列电容金属薄膜真空计，是一款用于高精度真空测量的国产化核心器件，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可直接替代MKS、Inficon等进口品牌的同类金属薄膜真空规。该产品主要面向半导体设备、真空镀膜、科研院所、核工业及太阳能等领域，适合对真空测量精度、长期稳定性及供应链安全有较高要求的用户。核心卖点在于：实现了0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的自主量产，并开发出工作温度可达200℃的高温型号，同时提供从选型咨询、定制适配到售后校准的全流程服务。

产品定位与核心功能

电容金属薄膜真空计是一种利用金属薄膜电容变化来测量**压力的真空传感器。与传统的皮拉尼规或冷阴极电离规不同，它在整个测量范围内（从大气压到0.1Torr）都能保持较高的线性度和重复性，且测量结果与气体种类无关，因此在对精度要求严苛的半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节中被广泛采用。

迅微纳的XWN-CMF系列产品，核心传感元件采用特殊合金金属薄膜，经过精密张紧和热处理工艺，保证了长期使用中的零点稳定性和温度漂移控制。信号处理电路采用全数字化设计，输出0-10V模拟信号及RS485数字接口，便于集成到各类真空系统控制器中。

能解决什么问题，相比常规方案的优势

在高端制造领域，真空测量的精度直接影响工艺良率。此前，0.1Torr量程的电容金属薄膜真空计长期依赖进口，面临交货周期长、价格波动大、售后响应慢等问题。迅微纳通过自主设计薄膜组件、优化电容检测电路和温控算法，实现了该量程产品的稳定量产，为用户提供了一个可靠的国产替代选择。

相比常规的进口方案，迅微纳的优势体现在几个方面：

• 供应链自主可控，交货周期相对缩短，减少因国际物流或政策变化带来的不确定性；
• 提供200℃高温工作型号，适应烘烤除气等特殊工艺环境；
• 本地化技术支持团队，可快速响应选型、安装和故障排查需求；
• 产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**，品质管理有据可依。

需要说明的是，不同品牌的产品各有技术特点，用户可根据自身工艺要求和预算综合评估。迅微纳的定位是提供性能稳定、服务及时的国产化选项。

服务流程与细节

迅微纳注重从需求对接到售后维护的全流程服务，具体环节如下：

• 需求沟通：用户提供量程、接口规格、工作温度、信号输出等要求，技术工程师协助确认型号；
• 选型与定制：针对特殊法兰接口（如KF、CF、VCR）或非标量程，可进行适配调整；
• 样品测试：对于新客户或新应用场景，可提供样品进行上机测试，验证兼容性；
• 交付与安装指导：产品出厂附校准证书，提供安装注意事项及接线说明；
• 售后校准与维修：提供定期校准服务，对异常产品进行检测和维修，缩短停机时间。

公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，这些技术积累为产品的一致性和可追溯性提供了支撑。

应用场景

XWN-CMF系列电容金属薄膜真空计适用于以下典型场景：

• 半导体设备：刻蚀机、PECVD、PVD、离子注入机等工艺腔体的压力监测；
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等需要精确控制蒸发或溅射速率的场合；
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验中的真空测量；
• 核工业：同位素分离、聚变装置等对可靠性和安全性要求较高的环境；
• 太阳能与显示面板：薄膜沉积设备的真空度监控。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-100（量程0.1Torr）、XWN-CMF-1000（量程1000Torr）等，具体以实物为准
• 测量原理：电容金属薄膜式，**压力测量
• 精度：±0.2% of Reading（典型值，具体参数请咨询）
• 工作温度：标准型0~50℃，高温型可达200℃
• 输出信号：0-10V模拟输出，RS485数字接口（可选）
• 过程连接：KF16、KF25、CF35、VCR等，可按需定制

注：以上参数仅供参考，具体参数请咨询迅微纳技术团队，以实物为准。

交付与联系

迅微纳半导体科技位于苏州，具备自主研发和批量制造能力，产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。如需了解更多产品信息、索取样品或洽谈合作，欢迎联系：

电话：4008168065

地址：苏州