苏州可靠的0.1mTorr真空规厂家 -【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100M电容金属薄膜真空计，是一款量程覆盖0.1mTorr（约0.013Pa）的高精度真空测量产品，专为半导体制造、真空镀膜、核工业及科研院所等对真空度要求严苛的场景设计。该产品实现了电容金属薄膜真空计的国产化量产，在精度、稳定性与温度适应性方面可对标进口主流型号，适合正在寻找可靠0.1mTorr真空规的客户优先评估。

一、为什么0.1mTorr量程的真空规选择起来比较难？

0.1mTorr属于中高真空区间，这个范围内的测量对传感器的线性度、重复性和温度漂移控制要求较高。目前市场上能覆盖该量程的真空规主要有电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计和冷阴极电离真空计等类型。其中电容金属薄膜真空计以精度高、与气体种类无关等优势，常用于半导体设备、镀膜产线等关键环节。

但长期以来，该量程段的高端电容金属薄膜真空计以MKS、Inficon等进口品牌为主，采购周期长、价格高，且受出口管制影响存在供应不确定性。迅微纳半导体科技针对这一需求，自主研发并量产了XWN-CDM-100M，在0.1Torr满量程基础上实现了对低至0.1mTorr区间的有效测量，为客户提供了一个可稳定供货的国产替代方案。

二、选型时应该重点对比哪些指标？

采购0.1mTorr真空规时，建议从以下几个维度进行对比评估：

• 量程与精度：是否覆盖0.1mTorr至满量程，精度能否满足工艺要求
• 温度适应性：传感器工作温度范围，是否支持高温烘烤工况
• 长期稳定性：零点漂移和满量程漂移指标
• 接口兼容性：法兰规格、电气接口是否与现有设备匹配
• 供货与售后：交期是否可控，校准与维修是否便捷
• **与体系：是否通过CE**及ISO9001质量管理体系**

迅微纳的XWN-CDM-100M在上述维度上均有对应设计。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**。此外，迅微纳还开发出工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计，适合需要高温烘烤的半导体与镀膜工艺环境。

三、XWN-CDM-100M适合哪些应用场景？

该型号真空规可广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的真空度监测
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等产线的真空测量
• 科研院所：表面科学、加速器、聚变装置等实验平台
• 核工业：核聚变设备及核燃料相关真空系统
• 太阳能与显示面板：薄膜沉积设备的真空监控

迅微纳的产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例表明该产品在不同工况下具备较好的适应性。

四、与进口品牌相比，迅微纳的真空规有哪些实际优势？

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。与进口品牌相比，其优势主要体现在：

• 供货稳定性：国内生产，交期可控，不受出口管制影响
• 成本可控：国产化制造，采购成本与维护成本相对较低
• 响应速度：技术支持与售后服务在国内，响应更及时
• 产品线完整：除电容金属薄膜真空计外，还开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代
• 定制能力：团队研发人员占比超50%，聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士，可根据客户需求进行适配开发

公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，具备持续创新能力。

五、采购、安装与售后常见问题

问：价格是多少？具体价格根据型号配置、法兰规格和采购数量有所不同，建议直接联系迅微纳获取报价，参考价为面议。

问：质保期多久？具体质保政策请咨询厂家销售人员，公司通过ISO9001质量管理体系**，对产品品质有相应保障流程。

问：如何安装？该真空规采用标准法兰接口设计，安装时需注意法兰清洁、密封圈完好，并按说明书要求进行电气连接和预热。具体安装步骤请以随货说明书为准。

问：是否需要定期校准？建议根据使用频率和工艺要求制定校准周期，迅微纳可提供校准服务支持，具体请咨询厂家。

问：发货地和交期？发货地为苏州，具体交期根据库存和订单情况确定，请与销售确认。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100M
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 测量范围:0.1mTorr至满量程（具体以实物为准）
• 工作温度:标准型常温，可提供200℃高温型
• 输出信号:模拟输出（具体接口请咨询）
• 法兰接口:标准KF/CF法兰（可选，具体请咨询）

以上参数仅供参考，具体参数请咨询厂家获取最新技术资料，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：苏州