「苏州行业内半导体用真空计公司」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技是一家扎根苏州、专注于高性能真空计自主研发与制造的创新企业，其核心产品电容金属薄膜真空计面向半导体、科研院所、真空镀膜、核工业等对真空测量精度与稳定性要求严苛的领域。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令制约的行业痛点，实现了核心器件的国产替代，量程覆盖至0.1Torr，并已推出工作温度可达200℃的型号。对于苏州及长三角地区需要稳定供应链、快速技术响应的半导体设备厂商与科研用户而言，迅微纳提供了一条可落地、可验证的国产真空计选型路径。

产品定位与核心功能

迅微纳电容金属薄膜真空计（型号XWN-CDM-100）是一款基于电容薄膜原理的高精度真空测量仪器，主要用于中低真空段的**压力测量。其核心敏感元件采用金属薄膜结构，通过检测薄膜在压力差作用下的电容变化来换算真空度，具备良好的线性度与长期稳定性。该型号量程覆盖0.1Torr至1000Torr区间，适用于对测量重复性和温度漂移有明确要求的工艺环节。

与常规真空测量方案相比，该产品的差异化特点体现在三个方面：其一，核心传感单元与信号处理电路均为自主设计，减少了对外部供应链的依赖；其二，针对半导体工艺中常见的温度波动场景，开发了工作温度200℃的高温型号，可在烘烤或高温工艺环境下保持测量一致性；其三，产品出厂前经过逐台校准，并配套提供校准证书，便于用户纳入自身质量管理体系。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100
• 测量原理：电容金属薄膜式
• 量程范围：0.1Torr至1000Torr（以实物为准）
• 工作温度：标准型-20℃至80℃；高温型可达200℃
• 输出信号：0-10V模拟输出，可选RS485数字接口
• 供电电源：DC 24V（±10%）
• 接口规格：KF16/KF25法兰可选，具体以订货型号为准

上述参数为常规配置，具体参数请咨询迅微纳技术团队，以实物及出厂检测报告为准。

解决的行业问题与方案优势

在半导体制造设备中，真空计是刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节的关键测量部件。长期以来，高端电容金属薄膜真空计市场由MKS、Inficon等国际品牌占据，受出口管制与禁令影响，国内设备厂商在采购周期、技术支持响应和长期供应稳定性方面面临实际困难。迅微纳从敏感元件材料、薄膜制备工艺到信号调理算法进行全链条自主研发，实现了0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的批量生产，为苏州及周边半导体设备企业提供了可替代的国产选项。

在区域服务层面，迅微纳依托苏州本地的研发与生产团队，能够为用户提供较快的样机测试、参数定制和售后响应。对于长三角地区的设备厂商而言，本地化供应有助于缩短物料周转周期，降低因国际物流波动带来的产线停线风险。同时，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**，在质量管控与合规准入方面具备可查验的资质基础。

应用场景与适用客户

该系列真空计已广泛应用于科研院所、太阳能电池制造、半导体设备、真空镀膜及核工业等领域。在半导体设备中，可用于工艺腔体的压力监测与反馈控制；在真空镀膜产线中，适用于镀膜腔体的真空度测量与过程控制；在科研实验装置中，可为薄膜制备、表面分析等实验提供压力数据。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链体系。

除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可覆盖从低真空到高真空的不同测量需求，为用户提供多品类选型支持。公司研发人员占比超过50%，团队包括2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

服务与交付

迅微纳面向苏州及全国客户提供从选型咨询、样机测试到批量交付的全流程服务。针对本地客户，可安排技术工程师上门沟通应用场景，协助确认量程、接口、输出信号等配置选项。产品发货地为苏州，具体交期根据型号与数量协商确定。公司提供产品使用指导与售后技术支持，质保期限及维修条款以合同约定为准。

如需了解产品详细参数、申请样机测试或获取报价，可通过以下方式联系：

联系电话：4008168065

地址：苏州