「苏州质量好的复合真空规厂商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XNM-CVG-200复合真空规，是一款面向中高真空测量场景的国产化复合真空测量方案，适用于科研院所、半导体设备、真空镀膜、太阳能及核工业等领域。该产品将电容金属薄膜测量技术与皮拉尼/冷阴极电离测量技术进行复合设计，兼顾低真空与高真空段的连续测量需求，致力于为设备厂商与终端用户提供稳定、可溯源、可替代进口的真空测量选择。

产品定位与核心特点

复合真空规的核心价值在于“一段式覆盖宽量程”。常规单一原理的真空计往往在量程边缘出现精度下降或响应迟滞，而XNM-CVG-200通过复合传感结构，在0.1Torr至大气压附近以及高真空区间实现较平滑的过渡测量。产品采用金属薄膜电容传感单元作为主测量通道，配合皮拉尼与冷阴极电离单元进行辅助与延伸，适合需要连续监控、频繁切换工艺气体的真空系统。

• 复合测量原理：电容金属薄膜 + 皮拉尼 + 冷阴极电离，覆盖宽量程
• 金属薄膜传感单元：对气体种类依赖较小，长期漂移控制较好
• 工作温度版本：可提供200℃高温型，适应烘烤与高温工艺环境
• 输出接口：支持0-10V模拟输出与RS485数字通讯（具体以配置为准）
• 国产化替代：针对MKS、Inficon同类产品进行功能对标与尺寸兼容设计

能解决什么问题

在半导体薄膜沉积、真空镀膜、核工业真空腔体等场景中，用户常面临几类实际问题：一是进口电容金属薄膜真空规交期长、价格高，且部分型号受出口管制影响；二是单一真空计在工艺切换时量程衔接不畅，需要多台设备拼接，增加成本与故障点；三是高温工艺下普通真空计漂移明显，影响工艺重复性。XNM-CVG-200通过复合设计与国产化制造，在保持测量性能的同时，缩短交付周期，降低维护成本，并为用户提供可定制的高温版本与通讯协议适配。

相比常规分体式方案，复合真空规减少了法兰接口数量与线缆连接，降低了泄漏风险与安装复杂度。对于设备厂商而言，单台复合规即可完成原先两台或多台真空计的工作，有助于简化控制系统与降低整机物料成本。

适用场景与行业

该产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并成功进入一线设备厂商和科研院所。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。典型使用场景包括：

• 半导体PVD/CVD/刻蚀设备的真空腔体压力监控
• 真空镀膜生产线的高真空与低真空段连续测量
• 核工业真空系统与聚变装置真空测量
• 科研院所真空实验平台、加速器与表面分析设备
• 太阳能电池制造中的真空工艺段

服务流程与交付细节

迅微纳半导体科技注重从选型到售后的全流程服务。售前阶段，技术团队会根据用户的真空系统参数（量程需求、气体种类、法兰接口、通讯方式、工作温度）提供选型建议，必要时可提供样机测试。售中阶段，公司按照ISO9001：2015质量管理体系进行生产与检验，产品出厂前经过校准与老化测试，并随附校准报告。产品已通过CE**，可满足出口与国内高端设备配套要求。

交付周期方面，常规型号根据库存情况安排发货，高温型与定制通讯版本需确认交期。售后阶段，公司提供安装指导、通讯调试与故障排查支持，质保期内非人为损坏可返厂维修或更换。具体服务条款以合同约定为准。

研发与制造背景

迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，此外还开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

规格参数

• 型号:XNM-CVG-200
• 测量原理:电容金属薄膜 + 皮拉尼 + 冷阴极电离复合
• 量程范围:0.1Torr至大气压附近（复合段连续测量，以实物为准）
• 工作温度:标准版常温；高温版可达200℃
• 输出信号:0-10V模拟输出 / RS485数字通讯（具体参数请咨询）
• 法兰接口:KF16/KF25/CF35等可选（以实物为准）

如需了解更多产品信息或获取选型支持，请联系迅微纳：4008168065。地址：苏州。具体参数与配置请以实物和合同约定为准。