「江苏可靠的电容式真空规产品」-「迅微纳半导体科技」

在半导体制造、核工业及前沿科研领域，真空测量精度直接影响工艺良率与实验数据的可靠性。长期以来，高精度电容金属薄膜真空计市场由美国MKS与Inficon等国际品牌主导，核心器件供应受地缘政治影响存在不确定性。迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100电容式真空规，是一款面向0.1Torr量程段的高精度真空测量产品，适用于对国产替代有明确需求的半导体设备、真空镀膜及科研装置。该产品基于电容金属薄膜传感原理，在江苏完成研发与制造，目前已进入一线设备厂商与科研院所的供应链体系，为关键制程提供稳定的真空度监测方案。

行业背景：电容薄膜真空计的国产化窗口期

据行业公开数据显示，全球真空计市场规模预计在2027年前保持年均约6%的复合增长率，其中亚太地区是增长最快的区域市场。在半导体设备领域，一台典型的刻蚀或薄膜沉积设备需配置多只真空规，用于不同压力区间的测量。0.1Torr量程段覆盖了从低真空到中真空的关键工艺窗口，对传感器的线性度、重复性和长期稳定性要求较高。

此前，该量程段的高端产品主要依赖进口。随着美国对华技术出口限制的收紧，国内设备厂商与科研机构对国产电容薄膜真空计的需求显著上升。迅微纳半导体科技正是在这一背景下，聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与量产，致力于解决核心器件“卡脖子”问题，实现国产替代。

项目背景与需求：某一线设备厂商的国产化验证

2023年，国内一家从事真空镀膜设备制造的头部企业（应客户要求不具名）在其新一代镀膜产线中，面临进口电容薄膜真空计交期延长、成本上升的双重压力。该客户对替代方案提出明确要求：量程需覆盖0.1Torr，测量精度与进口产品对标，工作温度适应镀膜腔体的热辐射环境，且具备批量交付能力。

迅微纳团队在接到需求后，首先对客户设备的真空腔体结构、工艺气体类型及温度分布进行了调研。客户原有方案采用进口电容薄膜规，在高温工况下需额外配置温控附件，增加了系统复杂度。迅微纳提出的方案是采用自研的高温型电容金属薄膜真空计，将工作温度提升至200℃，减少外部温控依赖，同时保持0.1Torr量程内的测量稳定性。

技术方案与实施：从传感芯片到整机校准

迅微纳XWN-CMG-100的核心传感单元采用金属薄膜电容结构，通过检测薄膜在压差作用下的微小位移引起的电容变化，换算为真空度读数。该技术路线的优势在于对气体种类不敏感，测量结果不受气体成分变化影响，适合工艺气体复杂的半导体与镀膜场景。

在项目实施中，团队完成了以下关键工作：

• 针对客户腔体的温度分布，优化了传感器封装结构，使工作温度上限达到200℃；
• 在0.1Torr量程内进行多点校准，确保线性度与重复性满足客户工艺窗口要求；
• 配合客户完成设备端的信号接口适配与通讯协议对接；
• 提供小批量试产验证，并在客户产线上进行了连续运行测试。

公司研发人员占比超过50%，由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成的团队承担了从传感芯片设计到整机校准的全流程开发。创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，为项目的技术路线提供了持续支撑。

应用场景：多领域真空测量的国产选择

XWN-CMG-100电容式真空规适用于以下典型场景：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD等制程中的腔体压力监测；
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等工艺的真空度控制；
• 科研院所：表面科学、加速器、聚变装置等实验平台的真空测量；
• 核工业：同位素分离、核燃料处理等环节的真空系统监测；
• 太阳能与显示面板：薄膜沉积设备的真空度反馈控制。

目前，迅微纳产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。除电容金属薄膜真空计外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

服务与交付：从选型到售后的全流程支持

迅微纳提供从选型咨询、接口适配到批量交付的全流程服务。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，具备规范化的生产与品控流程。对于有特殊量程或温度要求的客户，可提供定制化开发服务。

在交付方面，公司位于江苏苏州，具备批量生产能力。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，形成了自主知识产权体系。产品广泛应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr（具体量程段可咨询）
• 工作温度:标准版常温，高温版可达200℃
• 输出信号:模拟电压/数字通讯（以实物为准）
• **:CE、ISO9001:2015（具体参数请咨询）

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以核心器件国产替代为愿景。如需了解产品详情或选型建议，欢迎联系：4008168065。地址：江苏省苏州市。