「苏州半导体用真空计优质厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100A电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体制造、科研院所及真空镀膜领域的高精度真空测量产品。该产品量程覆盖0.1Torr，工作温度可达200℃，主要解决高端真空计依赖进口的供应风险。适合对真空测量精度、稳定性及国产化替代有明确要求的设备厂商与工艺工程师选型参考。

半导体产线常用真空计类型与选型要点

在半导体制造中，真空计的选择直接影响工艺重复性与设备稳定性。目前主流类型包括电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计和冷阴极电离真空计，三者原理不同，适用区间也有明显差异。

• 电容金属薄膜真空计：基于金属膜片电容变化测量，精度高、温漂小，适合0.1Torr以下中低真空段的精确控制，常用于刻蚀、PVD、CVD等核心腔体。
• 皮拉尼真空计：利用气体热传导原理，覆盖较宽的低真空区间，成本相对较低，多用于前级管路与粗抽监测。
• 冷阴极电离真空计：通过冷阴极放电测量高真空，适合10⁻⁶Torr以下区间，常与皮拉尼计组合实现宽量程覆盖。

选型时需重点关注量程范围、精度等级、工作温度、接口规格、气体兼容性以及与设备控制系统的信号匹配。对于半导体前道设备，优先考虑电容金属薄膜真空计；若仅需粗真空监测，皮拉尼真空计即可满足。具体参数请咨询厂家确认。

不同需求下的选择建议

若应用场景为半导体刻蚀、薄膜沉积等对压力控制要求较高的工艺腔体，建议选用电容金属薄膜真空计，量程以0.1Torr或0.01Torr为参考，并确认工作温度是否满足腔体烘烤需求。迅微纳半导体科技已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度200℃的型号，可适应高温工艺环境。

若用于真空系统的前级压力监测或粗抽管路，皮拉尼真空计是经济实用的选择。迅微纳提供皮拉尼真空计系列，可与电容薄膜计形成互补方案。

若需要高真空区间的测量，冷阴极电离真空计更为合适。迅微纳同时提供冷阴极电离真空计和真空开关产品，便于用户在同一供应商处完成多类型真空计配套，减少不同品牌间的信号匹配与校准工作量。

服务流程与交付细节

迅微纳半导体科技在服务流程上注重前期沟通与售后响应。选型阶段，技术团队会根据用户设备腔体结构、工艺气体种类、工作温度及信号接口要求，提供匹配建议。对于非标需求，可沟通定制化方案。

• 选型支持：提供量程、接口、温度版本等选型对照，协助确认与现有设备的兼容性。
• 样品测试：可根据项目情况安排样品测试，验证实际工况下的测量表现。
• 交付周期：常规型号备有库存，具体交期以合同约定为准。
• 售后支持：提供安装指导、信号调试及使用培训，质保期内按条款响应。

公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，覆盖半导体设备、真空镀膜、核工业与科研领域。

应用场景

迅微纳真空计产品广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中，电容金属薄膜真空计常用于刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的压力控制；皮拉尼真空计用于前级管路监测；冷阴极电离真空计用于高真空测量。真空开关可用于设定压力阈值触发控制信号。产品已进入一线设备厂商和科研院所，具体适配情况请结合工况咨询。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100A
• 量程：0.1Torr（以实物为准）
• 工作温度：200℃（高温版本）
• 测量原理：电容金属薄膜
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（具体参数请咨询）
• 接口规格：KF16/KF25/CF35可选（以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065。地址：苏州。