「苏州可靠的金属膜真空计制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100系列电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，核心传感元件采用金属薄膜电容结构，适用于半导体设备、真空镀膜、核工业及科研院所等对测量稳定性与重复性要求较高的领域。其核心价值在于：在电容金属薄膜真空计长期依赖进口的背景下，迅微纳实现了从设计到量产的全链条自主可控，为一线设备厂商和科研用户提供了一个可靠、可长期供应的国产替代选择。

客户面临的真实痛点

在半导体制造、真空镀膜和核工业等场景中，电容金属薄膜真空计是关键的在线测量器件。过去较长一段时间，国内用户主要依赖MKS、Inficon等进口品牌。这一供应格局带来的现实问题包括：

• 供应链不确定性：受出口管制和禁令影响，部分型号交货周期拉长，甚至出现断供风险，直接影响设备交付与产线运行。
• 维护成本高：进口真空计返修周期长、费用高，备件库存压力大，设备停机等待时间难以控制。
• 定制响应慢：特殊工况（如高温环境、特定接口）的定制需求，往往需要与海外原厂反复沟通，响应周期不理想。
• 技术支持滞后：现场调试和故障排查依赖海外支持时，语言和时差因素增加了沟通成本。

迅微纳正是围绕上述问题展开产品定义与研发，目标不是做“参数看起来差不多”的替代品，而是做“能长期稳定用、服务能跟上”的国产真空计。

产品特点与技术方案

XWN-CDM-100系列电容金属薄膜真空计采用金属薄膜作为电容极板，相比传统陶瓷或玻璃结构，在抗振动、抗热冲击和长期稳定性方面具有自身特点。产品在出厂前经过多点校准，保证线性度和重复性满足工业现场要求。

针对高温工况，迅微纳开发了工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计，可用于烘烤环境或靠近热源的测量点位，减少了因温度漂移带来的额外补偿需求。在量程方面，公司已实现0.1Torr量程产品的量产，这一量程段对薄膜张力控制和封装工艺要求较高，是国产化替代中的关键突破点。

除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，覆盖从低真空到高真空的测量需求，用户可以在同一供应商处完成多品类选型，降低采购与维护的协调成本。

应用场景

该系列产品已广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的压力监测与控制。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等产线的真空度测量。
• 核工业与核聚变设备：用于特殊环境下的真空参数监测。
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空测量。
• 太阳能与平板显示：薄膜沉积设备的真空系统配套。

产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用场景对真空计的长期漂移、抗污染能力和温度适应性有明确要求，迅微纳在产品验证阶段即针对这些指标进行了专项测试。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，具备从传感器设计、封装到整机装配和校准的完整制造能力。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

在服务层面，迅微纳提供选型咨询、安装指导、现场调试和售后维修等支持。对于有特殊接口或工况需求的客户，可基于现有平台进行定制化开发。已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，相关技术积累为产品的持续迭代和定制响应提供了支撑。

交付方面，常规型号根据库存情况安排发货，定制型号需沟通确认交期。具体参数和配置请以实物为准，选型细节请咨询厂家技术人员。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100系列（电容金属薄膜真空计）
• 量程范围：0.1Torr至1000Torr（多量程可选，以实物为准）
• 工作温度：标准型常温；高温型最高200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选，具体请咨询）
• 接口类型：KF16/KF25/CF35等（根据型号配置）
• 精度指标：以出厂校准报告为准，具体参数请咨询

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省苏州市