「江苏耐用的PVD设备用真空规生产商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG系列电容金属薄膜真空计，是一款面向PVD（物理气相沉积）设备、真空镀膜产线及科研真空系统的高精度真空测量器件。该产品针对0.1Torr量程段实现国产化量产，可替代MKS、Inficon等进口品牌同类产品，适合半导体设备厂商、镀膜设备集成商及真空系统运维单位选用。核心卖点在于：自主金属薄膜电容传感结构、200℃高温工作版本可选、CE**与ISO9001体系保障，以及面向设备厂商的定制化交付能力。

项目背景：PVD产线真空规的国产化替换需求

江苏某PVD设备集成商长期为光伏与半导体行业提供磁控溅射镀膜设备。其设备中的真空测量环节原先依赖进口电容薄膜真空计，交期长、价格高，且售后响应周期往往超过4周。随着客户对设备交付节奏和运维成本的要求提高，该集成商希望寻找一款性能稳定、供货及时、技术支持到位的国产真空规，用于PVD腔体的中低真空段压力监测。

经过多方比对与上机测试，该集成商最终选择与迅微纳半导体科技合作，在其PVD设备的主腔体与缓冲腔上批量导入XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计。

需求与方案：匹配PVD工艺的真空测量配置

PVD工艺对真空规的核心要求集中在三点：一是量程覆盖0.1Torr附近的工艺窗口，二是长期运行下的零点稳定性，三是耐受镀膜腔体中常见的温度波动与微量污染物。

迅微纳技术团队根据客户设备结构，提供了以下配置方案：

• 主腔体压力监测选用XWN-CMG-100标准型，量程0.1Torr，精度满足工艺控制要求；
• 靠近加热源的测点选用200℃高温版本，避免温漂影响读数；
• 配套提供信号调理模块与法兰接口定制，适配客户现有电气与机械接口；
• 出厂前逐台进行零点校准与满量程标定，附测试数据。

方案确定后，迅微纳在约定周期内完成首批样机交付，并安排技术人员驻场协助安装与调试。

实施与成效：从样机验证到批量导入

首批样机在该集成商的PVD测试平台上连续运行超过2000小时。期间记录了零点漂移、温度响应和重复性数据。客户反馈显示，XWN-CMG-100在0.1Torr量程段的读数重复性满足设备工艺要求，高温版本在200℃环境下未出现明显信号衰减。

基于测试结果，该集成商将XWN-CMG-100纳入其PVD设备的标准配置清单，并逐步扩展至更多机型。迅微纳同步建立了备件库存与快速响应机制，将常规交货周期控制在合理范围内，售后技术支持可在48小时内响应。

该案例是迅微纳在PVD设备领域的一个典型应用。公司致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题，实现核心器件国产替代。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

应用场景：覆盖多类真空测量需求

除PVD设备外，迅微纳真空计产品还广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。

服务与交付：面向设备厂商的配套支持

迅微纳面向设备厂商和科研用户提供以下服务：

• 选型支持：根据真空系统量程、温度、接口需求推荐适配型号；
• 定制化开发：支持法兰规格、电气接口、线缆长度等定制；
• 校准与测试：出厂逐台标定，可提供测试报告；
• 售后响应：技术支持快速响应，备件供应稳定；
• 批量交付：与一线设备厂商建立长期配套合作关系。

已申请发明专利6项，实用新型2项和软件著作权4项。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100（电容金属薄膜真空计）
• 量程:0.1Torr（标准型），可咨询其他量程选项
• 工作温度:标准版常温，高温版可达200℃
• 输出信号:0-10V / 4-20mA（具体以订货型号为准）
• 接口类型:KF、CF等法兰可选，支持定制
• **:CE**，ISO9001：2015质量管理体系

具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：全国发货，具体地址请致电咨询