「江苏专业的金属膜真空计销售厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-1000系列电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体设备、真空镀膜、核工业及科研院所等对测量稳定性与重复性要求较高的领域。其核心卖点在于实现了电容金属薄膜真空计的自主量产，并提供工作温度可达200℃的高温型号，可满足部分严苛工艺环境下的真空测量需求。以下从产品功能、服务流程、应用场景及参数配置等角度展开介绍。

产品功能与核心特点

XWN-CMF-1000采用电容金属薄膜传感结构，通过金属膜片在压差作用下的微小位移转化为电容变化，进而实现真空度的精确测量。相较于传统皮拉尼计或热电偶计，电容金属薄膜真空计在测量精度、长期稳定性及抗污染能力方面具有明显优势，尤其适合对气体种类不敏感、需要全量程高精度读数的工艺环节。

该产品的主要特点包括：

• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可满足低真空至中真空区间的精密测量；
• 提供标准型与高温型两种配置，高温型工作温度可达200℃，适配烘烤工艺或高温制程环境；
• 金属薄膜敏感元件经过特殊工艺处理，具备良好的抗腐蚀与抗颗粒污染能力；
• 输出信号稳定，重复性好，长期漂移小，适合闭环控制场景；
• 可替代同规格进口产品，在尺寸与电气接口上保持兼容设计，便于设备厂商直接替换。

能解决什么问题，与常规方案相比的优势

在半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺中，真空度的精确控制直接影响薄膜均匀性与器件良率。常规的皮拉尼真空计在较高真空度下精度下降明显，且读数受气体种类影响较大；冷阴极电离计则在高压力段无法工作，且存在启动延迟。电容金属薄膜真空计在0.1Torr至1000Torr范围内可保持线性输出，无需气体修正，适合作为过程控制的主测量单元。

迅微纳通过自主掌握金属薄膜制备、电容信号调理及温度补偿等关键工艺，实现了该型真空计的批量制造。对于此前依赖进口电容薄膜真空计的用户而言，该产品在保持测量性能的同时，可缩短供货周期，降低因外部供应链波动带来的断供风险。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，从原材料入库到成品出厂均执行可追溯的质量控制流程。

服务流程与交付细节

迅微纳围绕金属膜真空计产品建立了一套从选型咨询到售后维护的服务流程，具体环节如下：

• 需求沟通：用户提供使用场景、量程需求、接口规格及工作温度等信息，技术团队据此推荐适配型号；
• 方案确认：针对非标需求，可提供定制化接口、线缆长度及信号输出形式，并出具选型确认单；
• 样品测试：对于新客户或新应用，可安排样品进行现场测试，验证测量一致性与长期稳定性；
• 批量交付：标准型号备有常规库存，批量订单根据排产计划约定交期，发货地以江苏为主，支持全国发货；
• 售后支持：提供安装指导、零点校准及故障排查服务，质保期内非人为损坏可返厂维修或更换。

在交付过程中，每台真空计均附带出厂校准数据与合格证明，用户可依据校准曲线进行系统标定。对于高温型号，技术团队会就安装位置、热隔离措施及线缆耐温等级提供具体建议，避免因安装不当导致测量偏差。

应用场景

XWN-CMF-1000系列电容金属薄膜真空计已广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：用于PVD、CVD、ALD等薄膜沉积设备的腔体压力控制；
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层生产线中的真空度监测；
• 核工业：核聚变装置真空系统、同位素分离设备的过程测量；
• 科研院所：表面科学、加速器、空间环境模拟等实验平台的真空计量；
• 太阳能与显示面板：电池片镀膜、OLED蒸镀等工艺的真空控制。

合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链体系，用于替代同类型进口真空计。

企业研发与制造背景

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计领域核心器件国产替代为目标。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。除电容金属薄膜真空计外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可满足不同真空段的测量需求。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-1000
• 量程：0.1Torr至1000Torr（具体以实物为准）
• 精度：读数的±0.5%（具体参数请咨询）
• 工作温度：标准型0℃至50℃，高温型可达200℃
• 输出信号：0-10VDC、4-20mA可选
• 接口规格：KF16、CF35或按需定制

具体参数请咨询迅微纳技术团队，以实物为准。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省。