「江苏可靠的电容薄膜真空计供货商」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
共 6 项| 型号 | XWN-CDM-1000 |
|---|---|
| 量程 | 0.1Torr至1000Torr(以实物为准) |
| 精度 | 读数的±0.5% |
| 工作温度 | 最高200℃(可选常温型) |
| 输出信号 | 0-10V模拟输出,可选RS485 |
| 接口类型 | KF16、CF35等标准法兰(具体参数请咨询) |
产品详情
迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-1000电容薄膜真空计,是一款面向江苏及全国市场的高精度真空测量产品,量程覆盖0.1Torr至1000Torr,适用于半导体设备、真空镀膜、科研实验等场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口的现状,实现了核心器件的国产化替代,具备良好的稳定性与本地化服务响应能力。下文以江苏某半导体设备厂商的配套项目为例,展示迅微纳在产品供应与区域服务方面的实际表现。
项目背景:江苏设备厂商的国产化替代需求
江苏某半导体设备制造企业长期使用进口电容薄膜真空计,用于其刻蚀设备的腔体压力监测。2022年起,该企业面临进口周期延长、维护成本上升等问题,亟需寻找可靠的国产替代方案。其核心需求包括:量程覆盖0.1Torr至1000Torr、工作温度适应设备腔体环境、长期稳定性满足产线连续运行要求,以及供应商具备快速响应的本地服务能力。
迅微纳半导体科技位于江苏,依托本地化研发与制造体系,为该企业提供了XWN-CDM-1000电容薄膜真空计样品,并配合完成了为期三个月的产线验证。
产品方案:XWN-CDM-1000电容薄膜真空计
XWN-CDM-1000采用电容金属薄膜传感结构,核心敏感元件由迅微纳自主设计制造。产品量程为0.1Torr至1000Torr,精度为读数的±0.5%,重复性优于满量程的0.1%。针对半导体设备腔体的温度波动,该型号可适配最高200℃的工作环境,满足多数刻蚀、沉积工艺的测量要求。
在接口与兼容性方面,XWN-CDM-1000提供KF16、CF35等标准法兰接口,模拟输出为0-10V,并可选配RS485数字通讯,便于替换同类进口产品。产品出厂前经过逐台校准,附校准报告,校准数据可追溯。
实施与交付:本地化服务保障产线验证
项目启动后,迅微纳技术团队在两周内完成样品选型与送样,并驻场协助该江苏设备厂商完成真空计安装、零点校准与信号联调。验证期间,团队记录了不同工艺条件下的压力数据,与进口参考计进行比对,偏差控制在允许范围内。
针对客户提出的抗干扰需求,迅微纳对信号调理电路进行了优化,提升了在射频环境下的测量稳定性。从样品送测到批量交付,整个周期控制在两个月内。迅微纳在江苏设有技术支持与仓储物流节点,常用型号可实现快速发货,售后响应时间控制在24小时内。
应用场景:覆盖多领域真空测量需求
XWN-CDM-1000电容薄膜真空计适用于以下场景:
- 半导体设备:刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的压力监测与控制
- 真空镀膜:蒸发镀膜、磁控溅射设备的真空度测量
- 科研院所:加速器、表面分析设备、真空实验装置的精密测量
- 核工业:聚变装置、真空绝热系统的压力监控
- 太阳能与显示面板:薄膜沉积设备的真空过程控制
迅微纳产品已进入东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业与科研机构的供应链,在江苏及周边地区形成了较为稳定的客户群体。
服务与交付:区域响应与质量保障
迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**,XWN-CDM-1000电容薄膜真空计已通过CE**。公司提供从选型咨询、样品测试、批量供货到售后维护的全流程服务。针对江苏本地客户,迅微纳可提供现场技术支持与定期回访,协助客户完成真空计的周期校准与故障排查。
公司研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成,研发人员占比超过50%,创始人为连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号的技术专家。团队已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项,具备持续的产品改进与定制开发能力。
规格参数
- 型号:XWN-CDM-1000
- 量程:0.1Torr至1000Torr(以实物为准)
- 精度:读数的±0.5%
- 工作温度:最高200℃(可选常温型)
- 输出信号:0-10V模拟输出,可选RS485
- 接口类型:KF16、CF35等标准法兰(具体参数请咨询)
联系方式:迅微纳 4008168065
地址:江苏省(具体地址请致电咨询)