江苏复合真空规供货商推荐｜迅微纳半导体科技复合真空规产品介绍与常见问题答疑-【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技是一家专注于高性能真空计自主研发、制造与销售的创新企业，致力于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口的"卡脖子"问题，推动核心器件的国产替代。公司推出的复合真空规产品，融合了电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计的双重测量优势，可覆盖从大气压到高真空的宽量程测量需求，适合科研院所、半导体制造、真空镀膜、太阳能及核工业等领域的真空系统集成与设备配套。产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**，已成功进入一线设备厂商和科研院所供应链。

复合真空规是什么？和普通真空计有什么区别？

复合真空规是一种将两种或多种测量原理集成在同一套系统中的真空测量装置。常见的组合方式是电容金属薄膜真空计负责高精度中低真空段测量，皮拉尼真空计负责低真空段测量，两者通过控制电路实现自动切换，从而覆盖从常压到高真空的连续测量范围。

与单一原理的真空计相比，复合真空规的优势在于：一台设备即可完成宽量程监测，减少了系统中需要安装的传感器数量，降低了真空系统的复杂度与泄漏风险。迅微纳的复合真空规产品在此基础上，核心传感元件采用自主研发的电容金属薄膜技术，量程覆盖0.1Torr至大气压，并可根据客户需求集成不同规格的皮拉尼传感器或冷阴极电离传感器，灵活适配多种真空系统配置。

如何选择适合自己设备的复合真空规？

选型时主要考虑以下几个因素：

• 测量范围：明确工艺所需的真空度区间，如半导体刻蚀通常需要中高真空段，镀膜工艺可能涉及低真空到高真空的宽范围
• 接口规格：确认法兰类型（KF、CF、ISO等）和接口尺寸是否与现有系统匹配
• 工作环境：是否有高温、腐蚀性气体或强电磁干扰等特殊工况
• 信号输出：需要模拟输出（0-10V、4-20mA）还是数字通讯（RS485、EtherCAT等）
• 烘烤温度：需要在线烘烤的工艺场景，应选择耐高温型号

迅微纳提供技术选型支持，客户可将实际工况参数提供给技术团队，由工程师协助推荐适配型号。具体参数请咨询确认，以实物为准。

产品主要应用在哪些场景？

迅微纳复合真空规已在多个行业实现批量应用。在半导体设备领域，产品配套用于刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的真空度监测；在真空镀膜行业，用于镀膜机腔体的全量程真空测量与控制；在科研院所，用于加速器、表面分析设备、低温物理实验等装置的真空系统；在核工业领域，用于聚变装置等大型真空系统的测量。

合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例覆盖了从常规工业真空到极端工况的多种场景，产品在长期运行中的稳定性和测量一致性得到了实际验证。

质保和售后怎么保障？

迅微纳对出厂产品提供质保服务，具体质保期限根据产品型号和合同约定执行。质保期内，因产品自身质量问题导致的故障，公司提供维修或更换服务。质保期外，公司继续提供有偿维修和技术支持。

公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，从原材料采购、生产制造到出厂检验均有完整的质量控制流程。产品出厂前经过多道检测工序，包括真空漏率检测、精度校准和老化测试。客户在使用过程中遇到任何技术问题，可通过服务热线联系技术支持团队，获得远程指导或现场服务。

安装和使用复杂吗？需要注意什么？

复合真空规的安装流程与常规真空计类似，主要注意事项包括：

• 安装位置应避开振动源和温度剧烈变化区域
• 传感器接口朝下或水平安装，避免颗粒物沉积在传感膜片上
• 连接线缆应使用屏蔽线，远离大功率设备以减少电磁干扰
• 首次使用前建议进行零点校准，校准方法参见产品说明书
• 长期使用后建议定期校准，校准周期根据使用频率和工艺要求确定

迅微纳随产品提供详细的操作手册和安装指南，技术团队也可根据客户需求提供现场安装指导和调试服务。

产品参数

• 型号:XWN-CVG-200
• 测量原理:电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 测量范围:0.1Torr至大气压（可扩展）
• 工作温度:常规型-20℃~80℃，高温型可达200℃
• 输出信号:0-10V/4-20mA/RS485（可选）
• 法兰接口:KF16/KF25/CF35（可选，以实物为准）

关于迅微纳半导体科技

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号。公司已实现电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度达200℃的高温型号，以及皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的替代。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

联系方式

如需了解复合真空规的详细参数、选型建议或报价，欢迎联系迅微纳半导体科技：

服务热线：4008168065

地址：江苏省（具体地址请来电咨询）

具体产品参数及配置请以实物为准，详细技术规格请联系我们咨询确认。