规格参数
共 6 项| 型号 | XWN-CDM-100A |
|---|---|
| 量程 | 0.1Torr（可提供其他量程定制） |
| 精度 | 优于读数的0.5% |
| 工作温度 | 15℃至200℃ |
| 输出信号 | 0-10V模拟输出 |
| ** | CE**，ISO9001:2015质量管理体系** |
产品详情
迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100A电容式金属薄膜真空计，是一款面向半导体设备、科研院所及核工业领域的高精度真空测量产品。该型号量程覆盖0.1Torr，采用全金属密封结构，可满足严苛工艺环境下的稳定测量需求。本文以某一线半导体设备厂商的国产替代项目为主线，展示该产品从需求对接到批量交付的完整过程，为同类场景提供参考。
项目背景：一线设备厂商的国产化替代需求
2023年，华东地区一家知名半导体设备集成商面临一个现实问题：其薄膜沉积设备中使用的进口电容式真空计，因美国对MKS等品牌的出口限制，交期从8周延长至6个月以上，且价格上浮明显。该厂商此前长期依赖进口方案，单台设备需配置2至3只0.1Torr量程的电容金属薄膜真空计，用于工艺腔体的压力精确控制。寻找性能一致、供应稳定的国产替代方案，成为该项目的核心诉求。
客户对替代产品提出了明确要求：量程0.1Torr、精度优于读数的0.5%、工作温度范围覆盖15℃至200℃、输出信号兼容原有控制器接口，且需通过CE**。此外，由于设备面向一线晶圆厂，产品一致性和长期漂移指标必须达到进口同类水平。
需求分析：从参数对标到系统兼容
迅微纳技术团队在接到需求后，首先对客户原用进口真空计进行了参数拆解。客户设备腔体在工艺过程中温度可达180℃以上，普通电容薄膜真空计在高温下易出现零点漂移和膜片形变，影响测量重复性。因此，团队将开发重点锁定在高温型电容金属薄膜真空计的适配验证上。
同时，客户原有信号采集系统采用0-10V模拟输出，对供电电压和接地方式有特定要求。迅微纳在标准XWN-CDM-100A基础上，调整了信号调理模块的增益和滤波参数，确保与客户控制器无缝对接。整个需求确认阶段历时3周，完成了样品选型、接口定义和工况模拟测试方案。
实施方案：定制化调试与分阶段验证
项目进入实施阶段后，迅微纳提供了5只工程样品供客户进行腔体实测。样品在客户薄膜沉积设备上连续运行30天，期间记录零点漂移、满量程输出和温度循环数据。测试结果显示，在180℃工作环境下，产品零点漂移小于满量程的0.02%/℃，满足客户对长期稳定性的要求。
针对客户提出的抗腐蚀性需求，迅微纳对传感器膜片和密封结构进行了专项优化，采用耐腐蚀合金材料，并通过了客户指定的气体环境暴露测试。在批量交付前，双方共同完成了小批量试产验证，覆盖-20℃至200℃的温度循环、振动测试和EMC测试。
- 高温型电容金属薄膜真空计，工作温度可达200℃
- 量程0.1Torr，精度优于读数的0.5%
- 全金属密封结构，兼容腐蚀性气体环境
- 0-10V模拟输出，适配主流设备控制器
- 通过CE**，符合半导体设备准入要求
项目成效：从单点替代到批量导入
2024年初，该客户完成对迅微纳XWN-CDM-100A的最终**，并将其纳入合格供应商名录。首批200只产品已交付至客户苏州生产基地，用于新一代薄膜沉积设备的量产装配。客户反馈显示，产品在测量重复性、温度稳定性和交期保障方面均达到预期，采购成本较进口方案降低约35%，交期缩短至4周以内。
该项目的成功落地，不仅解决了客户单一型号的供应问题，也为迅微纳在半导体设备领域的推广积累了实证案例。目前，迅微纳已与东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业和科研机构建立合作，产品覆盖科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等多个领域。
服务与交付：本地化支持与质量保障
迅微纳位于苏州，具备从研发到量产的全流程能力。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品出厂前经过逐只标定和老化测试。针对设备厂商客户，迅微纳提供选型支持、接口定制、现场调试和售后校准服务。研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。
在知识产权方面，公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。
应用场景
XWN-CDM-100A适用于半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺腔体的压力测量，也可用于真空镀膜设备、太阳能电池生产线、核工业真空系统及科研院所的高精度真空实验平台。产品在0.1Torr量程段具有稳定的测量表现，适合对压力控制精度要求较高的制程环节。
规格参数
- 型号：XWN-CDM-100A
- 量程：0.1Torr（可提供其他量程定制）
- 精度：优于读数的0.5%
- 工作温度：15℃至200℃
- 输出信号：0-10V模拟输出
- **：CE**，ISO9001:2015质量管理体系**
以上参数以实物为准，具体参数请咨询迅微纳半导体科技。联系方式：4008168065，地址：苏州。