「江苏专业的复合真空规供货商」-「迅微纳半导体科技」

复合真空规是将皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量仪器，可覆盖从大气压到高真空的连续测量需求。迅微纳半导体科技作为江苏地区专注自主研发与制造高性能真空计的企业，推出的XWN-CVG系列复合真空规面向科研院所、半导体设备、真空镀膜、太阳能及核工业等领域，旨在为国产真空测量提供稳定可靠的替代方案。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。

行业背景与国产替代趋势

真空测量仪器长期由欧美品牌主导，其中电容金属薄膜真空计等高端品类曾面临供应链不确定性。近年来，国内半导体、光伏、核工业等下游领域对真空计的采购需求持续增长，据行业公开数据，全球真空计市场规模保持年均5%—8%的增速，而国内高端真空计国产化率仍有较大提升空间。迅微纳半导体科技聚焦这一环节，组建了由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士构成的研发团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，同时推出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

产品功能与核心特点

XWN-CVG-200复合真空规将两种测量原理集成于一体：低真空段采用皮拉尼（热传导）原理，高真空段采用冷阴极电离原理，通过内部逻辑自动切换，实现宽量程连续测量。其设计目标在于解决单一原理真空计量程有限、需多台设备拼接使用的问题，减少设备接口数量与校准环节。

• 宽量程覆盖：从大气压至10⁻⁷ Pa量级连续测量，减少多台仪器切换
• 双原理集成：皮拉尼与冷阴极电离组合，自动切换测量区间
• 抗污染设计：冷阴极结构无灯丝，降低因灯丝烧断导致的停机
• 输出信号：支持模拟电压与RS485数字通讯，便于接入设备控制系统
• 接口兼容：KF25/KF40等标准法兰，适配常见真空系统

相比常规分体式方案，复合真空规减少了独立传感器的安装数量，在设备集成度和维护便利性方面具有一定优势。具体性能表现需结合实际工况评估。

适用场景与行业应用

复合真空规适用于需要宽量程真空监测的多种场景。在半导体设备中，可用于刻蚀、薄膜沉积等工艺腔体的压力监测；在真空镀膜领域，适用于蒸发镀膜、磁控溅射等设备的真空度控制；在科研院所，常用于材料研究、表面分析等实验装置的真空测量；在核工业及聚变设备中，可用于真空腔体的过程监测。迅微纳产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳半导体科技提供从选型咨询、技术对接到售后支持的服务流程。产品发货地为江苏，具体交期与供货情况请咨询确认。公司依托自主研发能力，可为有特殊量程或温度要求的客户提供定制化沟通。产品已通过CE**，质量管理体系符合ISO9001:2015标准。如需了解适配型号或技术参数，可联系迅微纳获取进一步资料。

规格参数

• 型号:XWN-CVG-200
• 测量原理:皮拉尼+冷阴极电离复合
• 测量范围:大气压至10⁻⁷ Pa量级（以实物为准）
• 工作温度:常规型-20℃~+80℃（可咨询高温定制型号）
• 输出接口:模拟电压/RS485
• 法兰接口:KF25/KF40（可选）

以上参数仅供参考，具体参数请咨询确认，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏