苏州耐用的半导体设备用真空规制造企业-【迅微纳半导体科技】电容金属薄膜真空计产品介绍

迅微纳半导体科技的电容金属薄膜真空计（XWN-CDM系列）是一款面向半导体设备、科研院所与真空镀膜领域的高性能真空测量产品，量程覆盖0.1Torr等关键档位，并提供工作温度200℃的型号选择。产品定位是解决高端电容金属薄膜真空计长期依赖进口的问题，为设备厂商提供可验证、可交付的国产替代方案。适合正在做真空规选型对比、关注长期稳定性与售后响应的采购与工艺工程人员参考。

一、选型时为什么要单独对比电容金属薄膜真空计

半导体设备里的真空测量通常不是"一支规管打天下"。皮拉尼规适合粗真空，冷阴极电离规覆盖高真空，而电容金属薄膜真空计的优势在于中低真空段（约0.1Torr附近及以下到大气压区间）具有良好的线性与重复性，且读数与气体种类基本无关，因此在刻蚀、沉积、腔体压力控制等对压力精度敏感的环节被广泛采用。

选型对比时建议抓住几个维度：量程与精度是否匹配工艺窗口、膜片材料与介质兼容性、工作温度是否满足烘烤或高温工艺、输出接口与控制器兼容性、长期漂移表现，以及供应商的校准与维修能力。迅微纳的电容金属薄膜真空计正是围绕这些维度设计的，0.1Torr量程产品已实现量产，高温型可支持200℃工作环境，便于在需要腔体烘烤的设备上使用。

二、和进口品牌相比，怎么判断国产替代是否可行

客户最常问的问题是："国产电容薄膜规能不能替代MKS、Inficon？"比较务实的判断方式是分三步走：

• 参数对齐：先核对量程、精度、接口、供电与输出信号是否与现有控制系统匹配，逐项确认而非只看型号；
• 小批量验证：在非关键工位先行试用，观察零点稳定性、重复性和温度漂移，积累数据后再扩大使用范围；
• 服务半径：对比校准周期、备件供应与故障响应时间，这部分往往是国产厂商的相对优势。

迅微纳的产品线覆盖电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，可对MKS与Inficon常见产品做系列化对应，便于设备厂商统一供应商管理。是否适合直接替换，仍需结合具体工位参数评估，建议先索取规格书并与原型号逐条比对。

三、产品参数

以下为XWN-CDM-100M的主要规格，实际参数以实物和出厂规格书为准，具体参数请咨询。

• 测量原理：电容金属薄膜式，膜片与电极构成可变电容
• 量程：0.1Torr满量程（约13.3Pa），带超量程保护
• 精度：读数±0.5%左右（满量程线性度，典型值）
• 工作温度：标准型常温；高温型可至200℃
• 输出信号：0-10V模拟输出，可选数字通信接口
• 过程连接：KF16/KF25等标准法兰，可定制

四、应用场景

该类真空规主要用在需要稳定压力读数的场合：半导体刻蚀、PVD/CVD沉积设备的腔体压力监测；真空镀膜生产线的工艺压力控制；太阳能电池制造的真空工序；科研院所的真空系统搭建与校准；核工业与核聚变设备的相关真空测量环节。

迅微纳产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，覆盖科研、太阳能、半导体、镀膜与核工业多个领域。

五、质保、交付与服务

关于质保与交付，建议在询价时一并确认以下事项，迅微纳可提供对应的书面说明：

• 质保期与质保范围（是否含膜片损伤等非正常使用情形）
• 出厂校准报告与可追溯性文件
• 交货周期与备件库存情况
• 返修与再校准流程、响应时限

公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品已取得CE**。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得"科技**人才"与"创业**人才"称号；已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。这些积累对产品一致性和后续技术支持是直接的支撑。

六、安装与使用要点

安装前确认法兰规格与密封方式，避免膜片受力；规管应尽量靠近被测腔体、缩短连接管路以减少压力滞后；高温型在烘烤时注意线缆与电子部件的耐温范围；使用中定期做零点检查，按工艺要求安排再校准。初次使用建议由供应商提供安装说明或远程指导，出现读数异常时先排查泄漏与污染，再判断是否需要返厂。

七、价格与采购建议

真空规价格与量程、精度等级、温度规格、接口和数量有关，单支与批量采购差异较大，因此采用面议方式报价更准确。采购建议按"先小批验证、再批量导入、同步确认服务条款"的节奏推进，把参数、价格、交期与售后放在一起比较，而不是只比单价。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100M
• 品牌:迅微纳半导体科技
• 量程:0.1Torr满量程
• 工作温度:标准型常温/高温型200℃
• 输出:0-10V模拟输出，可选数字接口
• **:CE**，ISO9001:2015质量管理体系

联系方式：迅微纳 4008168065。地址：苏州。具体参数、价格与交期请来电咨询，以实物为准。