「江苏专业的皮拉尼真空计供应商」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
共 6 项| 测量原理 | 恒温式皮拉尼(热传导) |
|---|---|
| 量程范围 | 1×10⁻³ Torr ~ 1000 Torr(以实物为准) |
| 输出信号 | 0-10V模拟电压 / RS485数字通讯 |
| 规管材质 | 耐腐蚀金属壳体 |
| 工作温度 | 0℃ ~ 50℃(环境温度) |
| 供电电压 | DC 24V(具体参数请咨询) |
产品详情
迅微纳半导体科技推出的XWN-PR200皮拉尼真空计,是一款面向中低真空测量场景的国产化传感器产品,量程覆盖1×10⁻³ Torr至1000 Torr,适用于半导体设备、真空镀膜、科研实验等领域的真空度监测与控制。该产品由迅微纳自主研发制造,核心器件实现国产替代,已通过CE**,企业通过ISO9001:2015质量管理体系**,可稳定配套一线设备厂商及科研院所使用。
产品定位与核心功能
皮拉尼真空计基于气体热传导原理工作,通过加热丝在不同气压下散热速率的差异来推算真空度。XWN-PR200采用恒温式测量方案,在1×10⁻³ Torr至1000 Torr范围内输出稳定的电压信号,可搭配真空规管控制器或直接集成至设备控制系统中使用。
该型号在设计上注重长期运行的稳定性与抗污染能力,规管内部采用耐腐蚀金属材料,适用于存在微量工艺气体残留的真空环境。信号输出支持0-10V模拟电压及RS485数字通讯两种方式,方便用户根据现有设备接口灵活选配。
能解决什么问题
在半导体制造、真空镀膜和科研实验中,真空度的实时监测直接关系到工艺质量与设备安全。传统方案中,部分用户依赖进口皮拉尼真空计,面临采购周期长、维护成本高、备件供应不稳定等问题。迅微纳XWN-PR200针对这些实际痛点,提供了可替代的国产化选择。
- 供货周期相对可控,减少因进口备件等待造成的设备停机时间;
- 本地化技术支持,调试与售后响应更及时;
- 与同类进口产品在安装尺寸和信号接口上保持兼容,便于替换升级;
- 价格区间合理,降低用户的综合使用成本。
需要说明的是,不同品牌和型号的真空计各有其适用的真空区间与精度范围,用户应根据实际工艺要求选择合适的测量方案。XWN-PR200定位于中低真空段的常规监测需求,在重复性与长期漂移控制方面做了针对性优化。
适用场景与行业应用
XWN-PR200皮拉尼真空计可广泛应用于以下场景:
- 半导体设备:用于刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的预真空监测,配合高真空规实现宽量程覆盖;
- 真空镀膜:蒸发镀膜、磁控溅射设备的真空度实时显示与连锁控制;
- 科研院所:真空实验装置、材料研究设备中的真空度测量;
- 太阳能与核工业:薄膜沉积、真空热处理等环节的真空监测。
迅微纳的产品已成功进入一线设备厂商和科研院所,合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能(核聚变设备)、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例覆盖了从工业量产设备到前沿科研装置的多种真空测量需求。
企业研发与制造能力
迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司,以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队,研发人员占比超过50%,创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。
在技术积累方面,公司已实现要求最高的电容金属薄膜真空计(量程0.1Torr)的量产,并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计。此外,皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品也已推向市场,实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。
服务与交付
迅微纳提供从选型咨询、技术对接到安装调试指导的全流程服务。用户可根据实际真空测量范围、接口方式和工艺环境,与技术人员沟通确认具体配置。产品发货地为江苏,支持全国发货。具体交期与技术支持方案请咨询销售工程师。
公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**,产品通过CE**,确保从原材料采购到成品出厂的全流程质量管控。
规格参数
- 测量原理: 恒温式皮拉尼(热传导)
- 量程范围: 1×10⁻³ Torr ~ 1000 Torr(以实物为准)
- 输出信号: 0-10V模拟电压 / RS485数字通讯
- 规管材质: 耐腐蚀金属壳体
- 工作温度: 0℃ ~ 50℃(环境温度)
- 供电电压: DC 24V(具体参数请咨询)
联系方式:迅微纳 4008168065
地址:江苏省