「江苏行业内替代MKS的金属薄膜真空规公司」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-1000系列电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化替代产品。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，核心传感单元采用金属薄膜电容结构，适用于半导体镀膜、太阳能电池产线、核工业及科研院所等对真空度稳定性要求较高的领域。其核心价值在于：在保持与MKS同类产品相近测量性能的前提下，提供更具性价比的采购成本与更短的交付周期，帮助企业降低对进口真空规的依赖，优化长期使用与维护成本。

产品定位与核心功能

XWN-CMF-1000是一款电容式金属薄膜真空计，利用金属薄膜在压力差作用下产生的电容变化来测量**压力。与传统的皮拉尼规或冷阴极电离规不同，该产品在0.1Torr至1000Torr范围内具有较高的测量精度和良好的重复性，且读数不受气体种类影响，无需针对不同气体进行系数修正。这一特性使其在半导体刻蚀、PVD/CVD镀膜、真空热处理等工艺环节中，能够提供稳定可靠的真空度数据。

产品采用全金属密封结构，内部传感元件经过特殊热处理工艺，具备良好的抗腐蚀性和热稳定性。针对需要高温烘烤除气的应用场景，迅微纳还开发了工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计型号，满足超高真空系统对高温烘烤的需求。

能解决什么问题

在高端制造与科研领域，电容金属薄膜真空计长期依赖进口品牌。近年来，部分美国品牌受到出口管制影响，导致国内用户面临采购周期延长、价格波动、售后响应慢等问题。迅微纳半导体科技聚焦这一细分领域，实现了0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的自主量产，并延伸开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，形成了对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代方案。

具体而言，XWN-CMF-1000可帮助用户解决以下问题：

• 进口真空规交期不稳定，影响设备交付与产线维护进度；
• 采购成本与后期校准维修费用较高，增加设备全生命周期支出；
• 高温烘烤工况下，常规真空规无法满足200℃工作温度要求；
• 多品牌真空计混用导致信号接口与校准协议不统一，增加系统集成难度。

相比常规方案的优势

与进口同类产品相比，XWN-CMF-1000在保持测量原理与核心性能一致的基础上，具备以下客观优势：

• 性价比：国产化生产与本地供应链管理，使产品在采购成本上具有较为明显的优势，同时缩短了备货周期，减少用户资金占用。
• 长期价值：本地化的技术支持与校准服务，可降低后期维护的时间成本与物流成本。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，品质管理流程规范。
• 适配性：提供多种法兰接口与信号输出选项，便于替换现有进口真空规，减少设备改造工作量。
• 产品线完整：除电容金属薄膜真空计外，还可提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，满足从低真空到高真空的多量程测量需求，方便用户统一采购与系统集成。

需要说明的是，不同品牌与型号的真空计在具体精度指标、长期漂移特性上存在差异，用户应根据实际工艺要求进行选型验证。具体参数请咨询迅微纳技术团队。

应用场景

XWN-CMF-1000系列产品已广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：用于刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的真空度测量与控制。
• 太阳能电池：适用于PECVD镀膜、扩散炉等设备的真空监测。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等场景下的真空度反馈。
• 核工业与科研：核聚变装置、加速器、表面分析仪器等需要高精度真空测量的场合。
• 生物医药与冻干设备：冻干机腔体真空度控制与监测。

目前，迅微纳产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于江苏，拥有由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，具备持续的产品开发与定制能力。

交付方面，标准型号产品根据库存情况安排发货，定制型号需根据技术协议确定交期。公司提供选型指导、安装调试支持与售后校准服务。具体交付周期与质保条款以合同约定为准。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-1000
• 测量原理：电容金属薄膜式
• 量程：0.1Torr至1000Torr（具体以实物为准）
• 工作温度：标准型-20℃至80℃；高温型可达200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选）
• 法兰接口：KF16、KF25、CF35等（可选，具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏省（具体地址请致电咨询）