苏州有实力的半导体用真空计产品｜迅微纳半导体科技电容金属薄膜真空计应用场景解析

迅微纳半导体科技的XWN-CDM-1000电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体制造核心工艺环节的高精度真空测量产品。该产品针对美国MKS、Inficon等品牌禁令背景下的国产替代需求而研发，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等对真空度要求严苛的制程场景。核心卖点在于：实现要求最高的电容金属薄膜真空计（0.1Torr量程）量产，并开发出工作温度达200℃的耐高温型号，可满足半导体设备高温工况下的直接测量需求。目前已进入一线设备厂商和科研院所，是苏州地区具备自主研发与量产能力的半导体用真空计产品。

半导体薄膜沉积工艺中的真空度精确控制

在PECVD、PVD、ALD等薄膜沉积工艺中，腔体真空度的稳定性直接决定薄膜厚度均匀性和致密性。客户常见的痛点是：进口真空计在0.1Torr量程段精度不足，或长期使用后出现零点漂移，导致工艺重复性下降。迅微纳的XWN-CDM-1000采用电容金属薄膜传感结构，在0.1Torr满量程下仍能保持稳定的分辨率与线性度，适合作为沉积腔体的主控真空计使用。其全金属密封结构减少了传统真空计在腐蚀性气体环境中的老化问题，降低了设备厂商的维护频次。

刻蚀与离子注入设备的高温真空测量

刻蚀和离子注入工艺中，腔体温度常因等离子体轰击或射频功率而升高，普通真空计在高温下易出现读数漂移甚至传感器失效。迅微纳开发的200℃工作温度电容金属薄膜真空计，可直接安装在靠近腔体的高温区域，无需额外冷却或长距离导流管，减少了测量滞后和冷凝污染风险。对于设备集成商而言，这意味着更紧凑的真空测量方案和更低的系统复杂度，同时规避了进口高温真空计交期长、价格高的问题。

科研院所与核工业领域的定制化真空测量需求

科研院所和核工业领域的真空应用场景往往具有非标性强、量程跨度大、环境特殊等特点。例如聚变新能（核聚变设备）和中国核工业集团的相关装置中，真空测量需要兼顾低量程高精度与抗辐射、耐高温等要求。迅微纳依托2名博士、1名高级工程师、2名硕士组成的研发团队，可根据具体工况提供量程、接口、温度等级的定制化调整。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，具备从传感器设计到整机校准的完整技术链路，能够为科研项目提供从选型到交付的技术支持。

太阳能与真空镀膜产线的国产替代方案

太阳能电池和真空镀膜产线对真空计的需求量大，且对成本敏感。长期以来，该领域客户依赖MKS和Inficon的皮拉尼真空计和电容薄膜真空计，面临采购周期长、售后响应慢的痛点。迅微纳在电容金属薄膜真空计之外，还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，能够为产线客户提供稳定的批量供货和本地化售后支持。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，具备自主研发和量产能力，产品已成功进入一线设备厂商和科研院所。合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司提供从选型咨询、样品测试到批量交付的全流程服务，具体参数和价格请咨询确认。产品发货地为苏州，支持全国发货。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-1000
• 传感器类型：电容金属薄膜式
• **量程：0.1Torr（满量程）
• 最高工作温度：200℃（高温型号）
• 输出信号：0-10V / RS485（可选）
• **：CE**，ISO9001:2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体规格请咨询迅微纳半导体科技。联系方式：4008168065，地址：江苏省苏州市。