「江苏可靠的替代MKS的金属薄膜真空规供应商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF系列电容金属薄膜真空规，是一款面向高精度真空测量场景的国产替代产品，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，核心传感元件采用金属薄膜电容结构，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等领域的真空度监测。该产品旨在为江苏及全国用户提供稳定可靠的MKS同类产品替代方案，具备自主知识产权，已实现规模化量产，并通过CE**与ISO9001：2015质量管理体系**。

产品概述与核心功能

电容金属薄膜真空规是一种利用金属薄膜在压力差作用下产生位移、进而改变电容值来测量真空度的精密传感器。迅微纳半导体科技自主研发的XWN-CMF系列产品，采用全金属密封结构，传感膜片经过特殊热处理工艺，具备良好的长期稳定性与抗腐蚀能力。该系列真空规可输出0-10V模拟信号或RS485数字信号，便于集成到各类真空系统与设备控制单元中。

针对美国对MKS等品牌电容薄膜真空计的出口限制，迅微纳聚焦核心器件国产化，已实现量程0.1Torr的电容金属薄膜真空规量产，并开发出工作温度可达200℃的高温型号，满足半导体刻蚀、CVD、PVD等严苛工艺环境下的真空测量需求。产品在精度、重复性和温度系数等关键指标上，可对标同类型进口产品，为用户提供可靠的本地化供应选择。

解决什么问题与方案优势

在半导体制造、真空镀膜和核工业等领域，真空测量的准确性与稳定性直接影响工艺良率与设备安全。常规进口电容薄膜真空规面临交货周期长、价格波动大、售后响应慢等问题，尤其在出口管制背景下，供应链不确定性增加。迅微纳的XWN-CMF系列从设计到制造实现全流程国产化，能够有效缓解上述压力。

• 自主知识产权：已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，核心技术可控。
• 宽量程覆盖：提供0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr等多量程选项，适应不同真空区间。
• 高温版本可选：最高工作温度200℃，适用于烘烤工况与高温工艺腔体。
• 信号兼容性强：支持0-10V、4-20mA及RS485输出，便于替换现有进口仪表。
• 本地化服务：江苏发货，技术支持与售后响应及时，降低停机等待时间。

相比常规方案，迅微纳在产品交付周期、定制化需求和现场技术支持方面具备区域优势。公司研发人员占比超过50%，团队包含2名博士、1名高级工程师和2名硕士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，为产品持续迭代与工艺优化提供支撑。

适用场景与行业应用

XWN-CMF系列电容金属薄膜真空规广泛应用于对真空测量精度要求较高的场景，包括：

• 半导体设备：刻蚀机、PVD、CVD、离子注入机等工艺腔体的压力监测。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层、磁控溅射等镀膜设备的真空度控制。
• 科研院所：加速器、表面分析仪器、低温真空实验装置。
• 核工业：核聚变装置、同位素分离设备等特殊环境下的真空测量。
• 太阳能与平板显示：薄膜沉积、干法刻蚀等制程中的真空监控。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。迅微纳同时开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的多品类替代，为用户提供更完整的真空测量解决方案。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于江苏，具备从传感器设计、薄膜制备、封装测试到整机校准的完整制造能力。公司通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品出厂前经过多道检验与老化测试，确保测量一致性与长期可靠性。针对江苏及周边地区客户，公司可提供选型咨询、安装指导、现场调试和定期校准等本地化服务。批量采购与定制需求可安排技术对接，具体交期与方案根据实际工况确认。

发货地为江苏，支持全国范围物流配送。产品随附出厂校准证书，用户可根据需要委托第三方计量机构复检。对于高温型号或特殊接口需求，建议提前与技术人员沟通，以确认适配性。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-100
• 量程：0.1Torr / 1Torr / 10Torr / 100Torr / 1000Torr（可选）
• 精度：±0.5% of Reading（以实物为准）
• 工作温度：-20℃ ~ 80℃（标准型）；最高200℃（高温型）
• 输出信号：0-10V / 4-20mA / RS485（可选）
• 接口材质：不锈钢、镍基合金（视型号而定）
• 供电电源：24VDC ±10%
• 防护等级：IP40（具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省。