江苏质量好的替代MKS的金属薄膜真空规公司-【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技自主研发的XWN-CMF系列电容金属薄膜真空计，是一款面向高端真空测量场景的国产替代方案，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可直接对标MKS、Inficon等进口品牌同类产品。该产品主要面向半导体设备、真空镀膜、核工业、科研院所等对真空测量精度和稳定性要求较高的用户，核心卖点在于突破美国禁令带来的供应链限制，实现电容金属薄膜真空计的国产化量产，同时提供200℃高温版本，满足严苛工艺环境需求。

为什么要选择替代MKS的金属薄膜真空计？

电容金属薄膜真空计是半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺中不可或缺的核心测量器件。长期以来，国内市场高度依赖MKS、Inficon等美国品牌，不仅采购周期长、价格高，近年来还面临出口管制和供应链中断的风险。选择国产替代方案，一方面可以降低对进口器件的依赖，保障产线连续运行；另一方面，国产厂商在响应速度、定制化服务和售后支持上具有天然优势。

迅微纳半导体科技正是聚焦这一“卡脖子”环节，组建了由2名博士、1名高级工程师、2名硕士领衔的研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现要求最高的0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度达200℃的高温型号，能够覆盖MKS和Inficon主流产品的应用需求。

迅微纳的产品与MKS相比有哪些异同？

从测量原理上看，迅微纳的电容金属薄膜真空计与MKS同类产品一致，均采用金属膜片电容传感技术，具备高精度、低漂移、抗污染能力强等特点。在核心性能指标上，迅微纳产品经过严格标定和长期老化测试，能够满足半导体级真空测量要求。

主要差异体现在以下几个方面：

• 供应链自主性：迅微纳拥有完全自主的研发和制造能力，不受美国出口禁令影响，交货周期更可控。
• 温度版本：迅微纳提供200℃高温型号，适用于需要高温烘烤或特殊工艺环境的场景。
• 服务响应：本土化技术支持团队可快速响应客户需求，提供选型指导、安装调试和售后维修服务。
• 产品线完整性：除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

需要说明的是，具体性能参数因型号和使用环境而异，建议用户根据实际工况咨询迅微纳技术团队进行选型确认。

产品适合哪些应用场景？

迅微纳XWN-CMF系列电容金属薄膜真空计已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，产品成功进入一线设备厂商和科研院所。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等知名企业和机构。

典型应用场景包括：

• 半导体刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的真空度测量
• 真空镀膜设备的压力监控
• 核工业及核聚变装置的高可靠性真空测量
• 科研院所真空实验系统的精密测量
• 太阳能电池生产线的真空工艺控制

如何选择适合的型号？

选型时需重点考虑以下因素：量程范围、工作温度、接口类型、输出信号和真空环境兼容性。迅微纳XWN-CMF-1000为标准型号，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可根据用户需求提供不同法兰接口和电气连接方式。

对于需要高温烘烤的工艺环境，建议选用200℃高温版本。对于需要集成到设备控制系统的用户，迅微纳可提供模拟输出或数字通讯接口选项。具体选型建议联系迅微纳技术团队，根据实际工况提供定制化方案。

质量保障与售后服务如何？

迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品已通过CE**。公司建立了从原材料采购、生产制造到成品检验的全流程质量控制体系，确保每一台出厂的真空计都经过严格标定和测试。

售后服务方面，迅微纳提供产品质保服务，具体质保期限以合同约定为准。公司拥有专业的技术支持团队，可提供安装指导、使用培训和故障排查服务。对于合作客户，迅微纳还可提供定期校准和维护服务，保障产品长期稳定运行。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-1000
• 测量原理：电容金属薄膜传感技术
• 量程范围：0.1Torr至1000Torr（具体以实物为准）
• 工作温度：标准版常温，高温版可达200℃
• 输出信号：模拟输出/数字通讯（可选）
• **情况：CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

注：以上参数仅供参考，具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省