「江苏有实力的抗腐蚀真空计供货商」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是由迅微纳半导体科技自主研发的抗腐蚀电容金属薄膜真空计，型号XWN-CMG-100，面向半导体刻蚀、真空镀膜、核工业等存在腐蚀性气体的严苛工况。该产品在0.1Torr量程段实现国产化量产，采用抗腐蚀金属薄膜传感结构，适合对真空测量稳定性与耐蚀性有较高要求的设备厂商及科研单位。核心卖点在于：核心传感元件自主设计、可对标MKS与Inficon同类产品、支持本地化快速交付与技术支持。

项目背景：江苏某半导体设备厂商的腐蚀性工况测量需求

江苏是国内半导体设备与真空镀膜产业的重要集聚区，苏州、无锡、常州等地聚集了大量刻蚀机、PECVD、磁控溅射设备制造商。2023年，省内一家从事化合物半导体刻蚀设备集成的企业遇到一个实际问题：其设备腔体在刻蚀工艺中会残留氯气、氟化物等腐蚀性气体，原先使用的进口电容薄膜真空计在连续运行数月后出现零点漂移和信号衰减，返修周期长，且采购交期受海外供应链影响较大。

该客户提出的需求明确：一是真空计需在0.1Torr量程段保持测量精度；二是传感膜片与腔体接触部分需具备抗腐蚀能力；三是希望供货商位于江苏本地，能够提供现场调试与快速响应服务。

解决方案：XWN-CMG-100抗腐蚀电容金属薄膜真空计

迅微纳半导体科技针对该客户工况，推荐了XWN-CMG-100抗腐蚀电容金属薄膜真空计。该型号在标准电容金属薄膜真空计基础上，对膜片材料与封装结构进行了耐蚀处理，适用于含卤素气体、水汽等腐蚀性介质的真空测量场景。

产品核心传感单元由公司自主设计制造，量程覆盖0.1Torr至1000Torr可选，其中0.1Torr量程段已实现稳定量产。工作温度方面，标准版本支持0至50℃，高温版本可扩展至200℃，适应不同工艺腔体的温度环境。

• 抗腐蚀传感膜片，适用于含氟、含氯工艺气体环境
• 0.1Torr量程段自主量产，测量分辨率可达满量程的0.01%
• 可选200℃高温版本，适配高温工艺腔体
• 输出信号兼容0-10V与4-20mA，便于设备集成
• 支持本地化校准与维修，缩短停机等待时间

实施与交付：从选型到现场调试的本地化服务

项目启动后，迅微纳技术团队与客户设备工程师进行了两轮工况确认，明确了气体成分、工作压力区间、法兰接口规格及电气接口定义。由于客户设备为量产机型，对一致性要求较高，迅微纳在出厂前对每台真空计进行了单独标定，并提供标定数据报告。

交付环节，公司在江苏本地设有技术支持人员，可在接到需求后48小时内到达客户现场，协助完成安装、零点校准与信号联调。客户首批采购的12台XWN-CMG-100真空计已装配于其刻蚀设备中，连续运行超过6个月，未出现因腐蚀导致的测量失效问题。

应用场景：覆盖多类腐蚀性真空测量需求

XWN-CMG-100抗腐蚀电容金属薄膜真空计适用于以下场景：

• 半导体刻蚀、PECVD、ALD等含卤素气体的工艺腔体
• 真空镀膜设备中的腐蚀性气氛测量
• 核工业及聚变装置中的特殊气体环境
• 科研院所真空实验系统中的耐蚀测量点位
• 太阳能电池制造中的等离子体工艺设备

迅微纳真空计产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。

服务与支持：江苏本地化响应机制

作为位于江苏的真空计供货商，迅微纳半导体科技建立了面向本地客户的快速响应机制。服务内容包括：选型咨询、安装指导、现场校准、故障排查及维修更换。公司研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

对于江苏及周边地区的设备厂商，公司可提供样机测试、小批量试用及批量供货等灵活合作方式。具体参数与配置请咨询确认，以实物为准。

规格参数

• 型号: XWN-CMG-100
• 量程: 0.1Torr（可扩展至1000Torr，以实物为准）
• 精度: 满量程的0.5%（具体参数请咨询）
• 工作温度: 标准0-50℃，高温版本可至200℃
• 输出信号: 0-10V / 4-20mA
• 接口: KF16/KF25/CF35可选，以实物为准

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏。