「苏州金属薄膜规厂商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的电容金属薄膜真空计（又称金属薄膜规），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，采用全金属密封腔体与电容薄膜传感结构，适用于半导体镀膜、核工业、科研实验等对稳定性与耐腐蚀性要求较高的环境。其核心卖点在于实现了0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的自主量产，并可提供工作温度达200℃的高温型号，为受美国禁令影响的进口替代需求提供了可落地的国产方案。

产品功能与核心特点

电容金属薄膜真空计的工作原理是通过金属薄膜在压力差作用下的微小位移，改变电容极板间距，从而将压力信号转换为电信号输出。与传统的皮拉尼规或冷阴极电离规不同，金属薄膜规的测量结果不受气体种类影响，在混合气体或腐蚀性气体环境中仍能保持稳定的读数。

迅微纳该系列产品的主要特点包括：

• 全金属焊接结构，无弹性密封件，减少放气与老化漂移
• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，覆盖粗真空至中真空段
• 可选200℃高温烘烤版本，适应半导体工艺中的高温除气需求
• 输出信号线性度好，便于与上位机或PLC系统集成
• 抗腐蚀气体能力较强，适用于含氟、含氯等特殊工艺环境

需要说明的是，具体精度、重复性等指标因型号与量程不同存在差异，以实物为准，具体参数请咨询。

解决什么问题：从进口依赖到国产可用

在半导体设备、核工业与高端科研装置中，电容金属薄膜真空计长期依赖美国MKS、Inficon等品牌。近年来受出口管制影响，0.1Torr量程的高精度金属薄膜规面临采购周期延长甚至断供的风险。迅微纳针对这一场景，完成了从传感器结构设计、薄膜材料处理到信号调理电路的全链条自主研发。

与常规的国产替代尝试相比，迅微纳的方案并非简单仿制，而是围绕量产一致性做了针对性工艺开发。例如，金属薄膜的预张力控制与焊接热变形补偿是影响长期稳定性的关键环节，团队通过工艺优化使批次间一致性得到改善。目前该产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

真实应用场景与案例

在半导体镀膜设备中，电容金属薄膜规常用于工艺腔体的压力闭环控制。某一线镀膜设备厂商在替换进口规时，将迅微纳0.1Torr量程产品用于溅射腔体的中真空段监测，经过长时间跑片验证，读数漂移在可接受范围内，且供货周期从原来的数月缩短至数周。

在核工业领域，聚变新能的相关装置需要在高辐射与强磁场环境下测量真空度。迅微纳提供的金属薄膜规因全金属结构对辐射与磁场不敏感，被用于部分真空段的过程监测。中国科学技术大学的科研团队则在真空实验平台上采用该产品进行气体压力数据采集，配合皮拉尼规与冷阴极电离规组成复合量程测量方案。

这些场景的共同需求是：测量结果可追溯、长期稳定性好、能适应较恶劣的工艺环境。迅微纳的产品定位正是围绕这些真实需求展开，而非单纯追求参数上的“高指标”。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，具备从研发到量产的全流程能力。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**。研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

在交付方面，标准型号通常有备货，定制化需求（如特殊接口、高温版本、特定量程）需根据具体规格评估交期。公司提供选型咨询与售后技术支持，协助用户完成与现有真空系统的电气与机械接口对接。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，相关知识产权覆盖传感器结构、信号处理与校准方法。

规格参数

• 型号：XWN-CMG-100系列（含0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr多量程可选）
• 测量原理：电容金属薄膜式，全金属密封结构
• 量程范围：0.1Torr至1000Torr（具体以所选型号为准）
• 工作温度：标准版常温，高温版可达200℃
• 输出信号：0-10V或4-20mA（可选），具体以实物为准
• 接口类型：KF、CF或VCR等真空接口可选，具体参数请咨询

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。