「江苏可靠的200度的真空规工厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG200电容金属薄膜真空计，是一款可在200℃高温环境下稳定工作的真空测量器件，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，主要面向半导体制造、真空镀膜、核工业及科研院所等对高温烘烤与耐腐蚀有明确要求的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口的现状，实现了核心器件的国产化替代，并在温度耐受与长期稳定性方面做了针对性设计。下文从产品类型、选型要点、服务流程等角度展开说明，供设备工程师与采购人员参考。

200度真空规的主要类型与规格差异

目前工业与科研场景中，能在200℃环境下工作的真空规主要分为电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计和冷阴极电离真空计三类。三者的测量原理、量程与适用环境差异明显，选型时需先明确工艺条件。

• 电容金属薄膜真空计：基于金属膜片电容变化测量绝压，精度高、抗污染能力强，适合0.1Torr至1000Torr的精确测量，是半导体设备中常用的高温规类型。
• 皮拉尼真空计：利用热传导原理测量，量程通常为10⁻³Torr至大气压，成本相对较低，适合粗真空与中真空监测，但高温型需对传感器结构做专门处理。
• 冷阴极电离真空计：适用于高真空与超高真空区间（10⁻⁷Torr至10⁻²Torr），在200℃烘烤条件下需关注电极材料与绝缘件的热稳定性。

规格差异主要体现在量程、精度、工作温度、接口法兰和输出信号上。以XWN-CMG200为例，其工作温度上限为200℃，量程0.1Torr，线性度与重复性按工业级标准控制，法兰可选KF、CF或VCR接口，输出支持0-10V与4-20mA。具体参数以实物为准，不同批次可能因配置不同有所调整。

不同需求下的选型建议

选型时建议按以下顺序判断：先确认工艺温度是否长期接近200℃，再确认测量区间与精度要求，最后核对法兰接口与电气连接方式。

• 若工艺涉及高温烘烤且要求精确绝压测量，优先考虑电容金属薄膜真空计，XWN-CMG200在此类场景中可替代同规格进口产品。
• 若仅需粗真空监测且预算有限，可选用皮拉尼真空计，迅微纳同系列产品可覆盖该需求。
• 若测量区间在高真空段且需要200℃烘烤，冷阴极电离真空计是合适选择，但需确认电极材料耐温指标。
• 若需要真空系统联锁保护，可搭配真空开关使用，实现设定点触发。

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的型号，同时拥有皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS和Inficon相关产品做对应替代。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。

服务流程与交付细节

迅微纳的服务流程按“需求确认—选型建议—样品测试—批量交付—售后跟踪”五个环节推进。需求确认阶段，工程师会与客户核对工艺温度、量程、法兰规格和电气接口；选型建议阶段提供参数对照表与替代方案说明；样品测试阶段可配合客户在真实工况下验证；批量交付阶段按合同约定排产，发货地为江苏，具体交期以订单确认为准；售后跟踪阶段提供技术咨询与返修服务。

在交付细节上，每台真空规出厂前会经过高温老化与精度标定，随货提供出厂测试报告。包装采用防静电与防震设计，适合长途运输。对于科研院所与一线设备厂商，可提供定制化法兰与线缆长度。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等，产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应链体系。

应用场景

XWN-CMG200及迅微纳系列真空计广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中，200℃耐温能力可匹配腔体烘烤工艺；在真空镀膜中，金属薄膜电容结构对镀膜气氛有较好的耐受性；在核工业与核聚变设备中，产品的长期稳定性与抗辐照设计受到关注。具体适用性需结合工艺条件评估，建议选型前与技术人员沟通。

规格参数

• 型号:XWN-CMG200
• 测量原理:电容金属薄膜（绝压）
• 量程:0.1Torr（可扩展至1000Torr，以实物为准）
• 工作温度:200℃
• 输出信号:0-10V / 4-20mA
• 接口法兰:KF / CF / VCR（可选，具体参数请咨询）

如需选型支持或索取样品，请联系迅微纳半导体科技，电话：4008168065，地址：江苏。具体参数与交期请以实际沟通为准。