「苏州专业的半导体用真空计厂商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技是一家专注于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新企业，总部位于苏州，致力于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口的“卡脖子”问题，推动核心器件国产替代。公司已实现量程0.1Torr电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度达200℃的高温型号，同时拥有皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS、Inficon等进口品牌实现全方位替代。产品广泛应用于半导体设备、科研院所、太阳能、真空镀膜及核工业等领域，适合对真空测量精度、稳定性和国产化供应有明确要求的设备厂商与科研用户。

产品定位与核心功能

迅微纳XWN-CDM-100系列电容金属薄膜真空计是一款基于金属薄膜电容传感原理的高精度真空测量仪表。其核心传感元件采用特殊合金金属薄膜，通过检测薄膜在压差作用下的微小位移引起的电容变化，换算出**真空度。该原理使产品在0.1Torr至1000Torr量程内具备良好的线性度和长期稳定性，尤其适合半导体工艺设备中对压力控制要求严苛的场景。

与常规的皮拉尼电阻规或冷阴极电离规不同，电容金属薄膜真空计的输出信号与被测气体种类无关，无需针对不同气体进行校准系数修正。这一特性使其在刻蚀、PECVD、PVD等工艺腔体中，能够提供更直接、更可复现的压力数据。对于设备集成商而言，这意味着更少的标定环节和更低的维护复杂度。

对比分析与选择标准

在选择半导体用真空计时，通常需要从量程覆盖、精度等级、温度耐受、长期漂移、响应时间和接口兼容性六个维度进行评估。迅微纳的产品在以下方面形成了自身特点：

• 量程与精度：0.1Torr满量程型号已实现量产，精度可达读数的0.5%，重复性优于0.1%FS，适合中低真空段的精密测量。
• 温度适应性：标准型号工作温度可达80℃，高温型号可扩展至200℃，适应烘烤除气等半导体工艺需求。
• 长期稳定性：金属薄膜传感结构抗污染能力较强，在洁净工艺环境中年漂移量控制在满量程的0.5%以内。
• 国产化供应：核心传感器与信号处理电路均为自主设计，供应链可控，交期与售后响应较进口品牌更具灵活性。
• 系统兼容：提供0-10V、4-20mA及RS485等多种输出方式，可适配主流设备控制平台。

需要说明的是，不同技术原理的真空计各有适用区间。电容金属薄膜真空计在0.1Torr至1000Torr范围内表现良好，而冷阴极电离规则更适合高真空段。迅微纳同时提供皮拉尼和冷阴极产品，用户可根据实际工艺区间组合选型，形成完整的真空测量方案。

应用场景

迅微纳真空计系列产品已在多个对可靠性要求较高的领域形成实际应用：

• 半导体设备：用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等设备的腔体压力监测与控制。
• 科研院所：为真空实验平台、加速器、表面分析仪器提供压力测量。
• 太阳能与镀膜：适用于PECVD镀膜、磁控溅射等工艺过程的真空度监控。
• 核工业：在核聚变装置、同位素分离等场景中承担真空测量任务。

公司合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应体系。

研发与质量保障

迅微纳研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。从传感器封装到整机测试，各环节均执行标准化作业流程，确保批次一致性。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、样品测试到批量供货的全流程支持。标准型号交货周期通常为4-6周，高温定制型号视具体规格协商确定。公司提供12个月质保服务，质保期内非人为损坏可免费维修或更换。针对设备厂商的集成需求，可提供定制化接口和通讯协议适配。具体参数与配置请以实物为准，选型细节欢迎直接咨询确认。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100（电容金属薄膜真空计）
• 量程：0.1Torr / 1Torr / 10Torr / 100Torr / 1000Torr（可选）
• 精度：±0.5%读数（典型值）
• 工作温度：标准型80℃，高温型200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA / RS485
• 供电：24VDC（±10%）
• 接口：KF16 / CF35 / VCR等（可选）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。