「江苏专业的半导体用真空计生产商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技是江苏地区专注于半导体用真空计研发与制造的生产商，核心产品为电容金属薄膜真空计（CDG），量程覆盖0.1Torr至1000Torr，同时提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。产品主要面向半导体设备、科研院所、真空镀膜、太阳能及核工业等领域的真空测量需求，致力于解决高端电容薄膜真空计长期依赖进口的问题，实现核心器件的国产替代。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。

产品介绍：电容金属薄膜真空计的工作原理与定位

电容金属薄膜真空计是一种基于电容变化原理测量真空度的精密仪器。其核心结构为一张极薄的金属膜片，膜片两侧分别为参考腔和被测真空腔。当被测腔压力变化时，膜片产生微小形变，导致膜片与固定电极之间的电容值发生改变，通过高精度电路将电容变化转换为压力读数。该原理使电容薄膜真空计在0.1Torr至1000Torr量程内具有优异的线性度和重复性，且测量结果与气体种类无关，这是半导体工艺中对真空测量精度要求较高的环节所看重的特性。

迅微纳半导体科技自主研发的XWN-CDM系列电容金属薄膜真空计，聚焦半导体设备中对真空度要求严苛的场景，如刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节。公司已实现量程0.1Torr的电容金属薄膜真空计量产，并开发出工作温度可达200℃的高温型产品，适应半导体设备腔体高温工况下的真空测量需求。

能解决什么问题：从实际场景看产品价值

在半导体制造设备中，真空计是工艺控制的“眼睛”。以某一线设备厂商的刻蚀机台为例，其反应腔体在工艺过程中需要将压力精确控制在毫Torr级别，压力波动直接影响刻蚀速率和均匀性。过去该环节多采用进口电容薄膜真空计，但近年来受外部因素影响，部分型号的交期和供应稳定性出现波动。迅微纳的XWN-CDM系列产品在该场景中提供了可替代的测量方案，其0.1Torr量程型号可覆盖刻蚀工艺中的低压测量区间，且经过实际产线验证，测量一致性和长期稳定性满足设备厂商的工艺要求。

在科研院所场景中，如中国科学技术大学的真空实验平台，用户对真空计的响应速度和抗污染能力有较高要求。迅微纳的电容薄膜真空计采用全金属密封结构，减少了密封材料放气对测量结果的影响，适用于超高真空环境下的精密测量。同时，公司提供的皮拉尼真空计和冷阴极电离真空计可覆盖从大气压到高真空的宽量程测量，配合真空开关实现真空系统的自动控制。

相比常规方案，迅微纳产品的优势体现在几个方面：一是量程覆盖完整，从0.1Torr到1000Torr均有对应型号，用户可根据工艺区间灵活选型；二是高温型产品可适应200℃的工作环境，减少因温度漂移带来的测量误差；三是本地化生产和技术支持，缩短了交付周期和售后响应时间。这些特点使产品在半导体、核工业、真空镀膜等领域具备实际应用价值。

适用场景与典型用户

迅微纳半导体科技的真空计产品已广泛应用于多个领域，以下为部分典型应用场景：

• 半导体设备：刻蚀、PECVD、PVD、离子注入等工艺腔体的真空度测量与控制，已进入一线设备厂商供应链。
• 科研院所：真空实验平台、表面分析仪器、加速器真空系统等，合作单位包括中国科学技术大学。
• 核工业：核聚变装置真空系统、核燃料处理设备等，合作单位包括聚变新能、中国核工业集团。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等产线的真空监控，合作企业包括迈为科技。
• 太阳能与显示：光伏电池制造设备、LED外延设备等，合作企业包括三安光电。
• 生物医药与冻干：冻干机真空控制，合作企业包括东富龙。

企业研发与制造能力

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，形成了从传感器设计、电路开发到整机装配的完整技术链条。

公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。生产环节采用标准化工艺流程和校准设备，确保每台真空计在出厂前经过压力校准和老化测试。具体校准数据和精度指标以实物为准，用户可根据实际需求咨询定制。

服务与交付

迅微纳半导体科技提供从选型咨询、技术对接到售后支持的全流程服务。用户可根据工艺压力范围、工作温度、接口规格等参数选择合适型号，公司技术团队可协助确认选型方案。产品发货地为江苏，支持全国发货。对于有特殊需求的用户，公司可提供定制化开发服务，包括调整量程、接口形式、输出信号等。具体交付周期和定制方案请咨询公司销售人员。

规格参数

• 型号：XWN-CDM-100（电容金属薄膜真空计）
• 量程：0.1Torr至1000Torr（多型号可选）
• 工作温度：标准型-20℃至80℃，高温型可达200℃
• 精度：读数的0.5%至1%（以实物为准）
• 输出信号：0-10V、4-20mA可选
• 接口规格：KF16、KF25、CF35等可选

具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏省