「江苏行业内薄膜真空计品牌」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-1000系列电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，采用全金属密封结构与电容薄膜传感原理，适用于半导体镀膜、太阳能电池制程、核工业及科研院所等对真空度要求严苛的环境。核心卖点在于实现电容金属薄膜真空计的自主量产，可对标MKS、Inficon同类产品，并提供200℃高温版本，满足差异化工艺需求。

产品定位与核心功能

XWN-CMF-1000是一款全量程高精度电容金属薄膜真空计，基于电容式薄膜形变原理测量**压力。其传感元件为金属薄膜，通过电极间电容变化换算真空度，具备抗腐蚀、抗污染、长期稳定性好的特点。产品出厂前经过多点校准，线性度与重复性满足工业级与科研级使用要求。

该型号主要解决三类问题：一是美国禁令背景下电容金属薄膜真空计采购受限、交期不确定的供应链风险；二是常规真空计在腐蚀性气体或高温工艺中易漂移、寿命短的问题；三是进口产品维修周期长、服务响应慢的痛点。迅微纳通过自主设计传感器结构、优化薄膜材料与封装工艺，使产品在保持测量精度的同时，具备更短的交付周期和本地化技术支持。

服务流程与细节

迅微纳围绕薄膜真空计产品建立了一套从选型到售后的闭环服务流程，强调响应速度与工艺适配。

• 需求对接：客户提供使用场景、量程、接口规格、工作温度及气体环境，技术团队在1个工作日内给出选型建议。
• 样品测试：针对新客户或新工艺，可提供样品进行现场测试，附校准证书与测试报告，测试周期通常为5-7个工作日。
• 定制化配置：支持法兰接口（KF、CF、ISO等）、输出信号（0-10V、4-20mA）、电气连接器及高温版本的定制，具体参数以实物为准。
• 交付与安装：标准品交货期约2-4周，定制款视配置确认。随货提供安装指南，必要时可安排工程师远程或现场协助调试。
• 售后与校准：产品提供12个月质保，质保期内非人为损坏免费维修。支持返厂校准服务，校准周期建议12个月一次，具体以使用环境为准。

技术特点与差异化优势

相比常规真空测量方案，XWN-CMF-1000在以下方面做了针对性设计：

• 全金属密封结构：传感器与壳体采用全金属焊接，无橡胶密封件，降低出气率，适用于超高真空环境。
• 高温版本可选：标准版工作温度范围为10-50℃，高温版可扩展至200℃，适用于烘烤除气或高温工艺腔体。
• 抗腐蚀薄膜：薄膜材料经过钝化处理，对常见腐蚀性气体（如氟基、氯基气体）具备一定耐受能力，延长使用寿命。
• 国产化供应链：核心传感器、电路与结构件均在国内完成设计与制造，规避进口禁令风险，交期与成本更可控。
• 多信号输出：支持模拟量与数字量输出选项，便于接入PLC、上位机或真空控制器。

需要说明的是，不同量程与配置的测量精度、响应时间存在差异，具体参数请咨询技术人员确认。

应用场景

XWN-CMF-1000系列已广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：用于PVD、CVD、刻蚀、离子注入等工艺腔体的压力监测，适配一线设备厂商的真空系统。
• 太阳能电池：用于PECVD镀膜、扩散炉等环节的真空度控制。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等场景的真空测量与过程控制。
• 核工业与聚变装置：用于核聚变设备真空系统监测，合作方包括聚变新能、中国核工业集团相关单位。
• 科研院所：中国科学技术大学等高校及研究机构用于真空实验平台。

合作客户还包括东富龙、三安光电、迈为科技等企业，产品已进入一线设备厂商供应链。

企业保障与资质

迅微纳半导体科技是一家专注于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，致力于解决电容金属薄膜真空计“卡脖子”问题，实现核心器件国产替代。公司研发人员占比超过50%，团队包括2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

公司已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出200℃高温版本，同时拥有皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等产品线，可对MKS、Inficon真空计产品形成全方位替代方案。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-1000
• 测量原理：电容金属薄膜式**压力测量
• 量程范围：0.1Torr至1000Torr（多量程可选）
• 工作温度：标准版10-50℃，高温版可至200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA / RS485（可选）
• 接口规格：KF16、KF25、CF35、ISO-K等（可选）
• 供电电源：DC 24V（典型值）
• 精度指标：以实物校准证书为准，具体参数请咨询

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省（具体地址请致电咨询）