苏州半导体用真空计制造企业-【迅微纳半导体科技】电容金属薄膜真空计产品介绍

迅微纳半导体科技是一家专注于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新企业，其核心产品电容金属薄膜真空计（0.1Torr量程）已实现量产，可对标MKS、Inficon等进口品牌，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所等对真空测量精度要求较高的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令制约的"卡脖子"问题，提供了国产化替代方案，兼顾采购成本与长期使用价值。以下整理客户在选型与采购中最关心的若干问题，供参考。

一、这款真空计主要解决什么问题？适合哪些用户？

电容金属薄膜真空计是半导体制造中关键的压力测量器件，长期由美国MKS、Inficon等品牌主导。迅微纳半导体科技自主研发的XNM-CDM-100，量程覆盖0.1Torr，核心传感结构与信号处理电路均为自主设计，旨在为国内半导体设备厂商、科研院所和真空镀膜企业提供可稳定供货的国产替代选择。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

二、产品参数如何？选型时该关注哪些指标？

选型时建议重点关注量程、精度、工作温度、输出信号和接口兼容性。XNM-CDM-100的主要规格如下（具体参数请咨询确认，以实物为准）：

• 量程:0.1Torr（可覆盖半导体常见中低真空测量区间）
• 精度:优于读数的0.5%（以实物为准）
• 工作温度:标准版常温；高温版可达200℃
• 输出信号:0-10V模拟输出，兼容主流设备接口
• 材质:金属薄膜电容传感结构，抗腐蚀、稳定性好
• **:通过CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

如果工艺环境涉及高温烘烤或腐蚀性气体，可优先考虑200℃高温版本。迅微纳还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可满足从低真空到高真空的不同测量需求。

三、相比进口品牌，性价比和长期价值体现在哪里？

进口电容金属薄膜真空计采购周期较长，价格受汇率和出口管制影响波动较大，后期维修和更换也依赖原厂渠道。迅微纳的国产替代方案在以下几个方面体现长期价值：

• 采购成本可控：省去进口关税和跨境物流环节，整体持有成本更低
• 供货稳定：国内自主研发制造，不受出口禁令和跨境供应链波动影响
• 维护便捷：本土技术支持团队响应快，维修和校准周期短
• 兼容性强：输出信号和接口设计参考主流进口型号，便于设备替换升级
• 持续迭代：研发人员占比超50%，团队含2名博士、1名高级工程师、2名硕士，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品可持续优化

对于需要批量部署或长期运行的半导体产线而言，选择国产真空计不仅是降低单次采购成本，更是减少供应链风险和后期运维投入的长期考量。

四、如何安装和使用？需要注意什么？

XNM-CDM-100的安装方式与主流电容金属薄膜真空计一致，通常通过KF或CF法兰接入真空系统，电气接口按说明书连接供电和信号线即可。使用中建议注意以下几点：

• 安装前确认系统处于安全压力范围，避免超量程冲击传感器
• 高温版本需注意工作温度上限，避免超出200℃导致器件损伤
• 定期进行零点校准，建议按实际使用频率制定校准周期
• 避免在强腐蚀性或含颗粒物环境中长期使用，必要时加装过滤装置

迅微纳提供产品使用说明和技术支持，如遇安装或调试问题可联系售后团队协助。

五、质保和售后服务怎么保障？

迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品出厂前经过质量检验。公司提供标准质保服务，具体质保期限和范围以合同约定为准。售后方面，依托苏州本地团队，可提供技术咨询、故障排查和维修支持。对于批量采购客户，可根据需求提供选型建议和定制化服务。具体质保政策和交付周期请咨询确认。

六、应用场景有哪些？

XNM-CDM-100及迅微纳系列真空计产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。典型场景包括：半导体刻蚀和薄膜沉积设备的压力监测、真空镀膜产线的真空度控制、核工业真空系统的测量，以及高校和科研院所的真空实验平台。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所供应链，具备实际工况下的运行验证。

规格参数

• 型号:XNM-CDM-100
• 量程:0.1Torr
• 精度:优于读数的0.5%（以实物为准）
• 工作温度:常温版/200℃高温版可选
• 输出信号:0-10V
• **:CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：苏州