「江苏耐用的半导体用真空计产品」-「迅微纳半导体科技」

江苏耐用的半导体用真空计产品，专为半导体前道制程、薄膜沉积、刻蚀与真空镀膜等场景设计，面向对真空测量稳定性与国产化供应有明确要求的设备厂商与科研单位。核心卖点是电容金属薄膜传感方案的自主量产能力、0.1Torr量程覆盖、200℃高温型可选，以及可对应MKS、Inficon同类产品的替代方案。本文以某半导体设备厂商的真空计配套项目为主线，说明迅微纳如何从需求对接到批量交付，解决客户在供应稳定性与测量一致性上的实际问题。

项目背景：一台设备背后的供应隐忧

华东一家半导体设备厂商在薄膜沉积设备的腔体压力监测环节长期使用进口电容薄膜真空计。随着产能爬坡，客户遇到两个现实问题：一是进口产品交期波动，备件补充节奏难以与整机交付计划对齐；二是部分量程段产品受出口管制影响，采购周期与可得性存在不确定性。客户希望找到一款在精度、重复性与温度适应性上能够对标的国产真空计，先在小批量机台上完成验证，再考虑逐步导入。

迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计受美国禁令影响带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。这一背景成为客户愿意启动验证的前提。

客户痛点：不只是“买得到”

在与客户技术团队沟通后，需求被拆解为四个层面：

• 量程匹配：腔体工艺压力分布在低真空到中真空区间，需要覆盖0.1Torr量程的高精度测量方案；
• 环境适应：部分工艺腔体烘烤温度较高，真空计需在高温工况下保持稳定输出；
• 接口兼容：新器件需与现有整机电气接口和信号协议对接，减少改造成本；
• 供应保障：希望有稳定的本土交付与技术支持，缩短故障响应时间。

客户明确表示，价格不是**考量，长期一致性、批次间重复性和售后响应速度才是导入决策的关键。

解决方案：以电容金属薄膜真空计为核心

针对上述需求，迅微纳提供了以电容金属薄膜真空计为主体的配套方案。公司已实现要求较高的电容金属薄膜真空计量程0.1Torr的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，可覆盖客户对高温工况的测量需求。同时，公司产品线还包括皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可根据机台不同测点灵活组合，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

在实施阶段，双方按“样机送测—单机台试运行—小批量导入”的节奏推进。迅微纳技术团队配合客户完成安装尺寸确认、电气接口适配与信号标定，并就高温工况下的安装位置与隔热措施给出建议。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，为批次一致性与过程管控提供了体系支撑。

实施与成效：从验证到批量配套

经过数月的试运行，客户反馈真空计在常规工艺腔体中的读数重复性满足机台控制要求，高温型产品在烘烤工况下输出稳定，未出现明显漂移。随着验证通过，该客户已将迅微纳真空计纳入部分机型的标准配置，并逐步扩展至更多测点。对客户而言，直接收益体现在三个方面：备件交期缩短、采购计划可控、技术支持响应更快。

这一项目也印证了迅微纳产品在半导体设备配套中的可用性。目前公司产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，持续围绕真空测量核心器件进行技术积累。

应用场景与服务交付

该系列真空计适用于半导体薄膜沉积、刻蚀、真空镀膜、太阳能电池制造、科研真空系统及核工业相关设备等场景，尤其适合对量程精度、高温适应性和国产供应稳定性有要求的用户。迅微纳提供从选型咨询、样机测试到批量交付的配套服务，支持按客户机台接口进行适配沟通，并提供售后技术支持。具体配置与交付周期以实际项目沟通为准。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-1000
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr量程段（具体以选型为准）
• 工作温度:常规型与200℃高温型可选
• 输出信号:模拟电压/电流输出，接口可按需适配
• **:CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。