「苏州电容式真空计源头厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CMG100 是一款电容金属薄膜真空计，量程覆盖 0.1Torr 级别，面向对真空测量精度与长期稳定性有要求的科研与工业用户。产品由苏州源头厂家自主研发制造，核心器件实现国产替代，兼顾采购成本与全生命周期使用成本，适合科研院所、半导体、真空镀膜等场景的批量上机与长期运行。

产品定位与核心功能

XWN-CMG100 采用电容金属薄膜传感结构，以金属薄膜作为感压元件，通过电容变化换算真空度。与常规方案相比，该结构在低量程段的分辨与零点稳定性表现较好，适合需要长期连续监测的工艺环节。该型号覆盖 0.1Torr 量程段，是电容薄膜真空计中要求较高的一档，公司已实现该量程的量产，并开发出工作温度可达 200℃ 的版本，可用于存在烘烤或高温工况的真空系统。

从长期价值看，电容金属薄膜真空计的核心成本不只在采购价，还包括校准周期、漂移补偿与停机维护。XWN-CMG100 在设计上注重零点稳定与重复性，减少频繁送检与更换带来的隐性支出，这也是源头厂家在性价比上的主要体现。

相比常规方案的客观优势

• 源头制造：研发与生产环节自主可控，供货周期与备件响应相对可控，降低长期使用中的断供风险。
• 量程覆盖关键段：0.1Torr 量程实现量产，满足对低量程精度有要求的工艺与科研测量。
• 高温版本可选：工作温度 200℃ 的版本适配烘烤、高温工艺腔体等场景。
• 产品线配套：除电容薄膜真空计外，还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计与真空开关，便于同一系统内成套选型，减少多品牌兼容成本。
• **与体系：产品已通过 CE **，公司通过 ISO9001:2015 质量管理体系**，为长期批量使用提供体系保障。

材质与配置

传感核心为金属薄膜电容结构，接液部分材质与接口形式可按工况选配，常见配置包括标准真空法兰接口与模拟/数字信号输出，便于接入控制器或上位系统。外壳与电路部分针对工业现场电磁环境做了相应处理。具体材质、接口与输出形式因型号配置不同而有差异，以实物为准，具体参数请咨询。

适用场景

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商与科研院所的供应链。典型使用场景包括：

• 半导体与镀膜设备的腔体压力监测与工艺控制；
• 科研真空系统的低量程精密测量；
• 需要高温烘烤的真空腔体；
• 核工业及聚变相关设备的真空监测环节。

合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，可作为选型参考。

服务与交付

作为苏州本地源头厂家，迅微纳提供从选型咨询、样机测试到批量交付的完整支持。团队由 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过 50%，可根据用户工况提供量程、接口与温度版本的匹配建议。常规型号按订单排产，全国发货；批量项目可协商交付节奏与备件方案。产品已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项，技术资料可按需提供。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr 量程段（多档可选）
• 工作温度:标准版 / 高温版最高 200℃（按配置）
• 输出信号:模拟/数字可选（按配置）
• 接口形式:标准真空法兰（按配置）
• **:CE；体系 ISO9001:2015

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065。