「苏州可靠的200度的真空规厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的 XWN-CMG200 是一款工作温度可达 200℃ 的电容金属薄膜真空计，面向需要在高温工况下稳定测量真空度的科研院所、半导体设备、真空镀膜及核工业等用户。该产品采用全金属敏感结构，兼顾高温稳定性与测量精度，核心器件实现自主研发与国产化供货，在采购周期和长期使用成本上具备实际优势。适合对真空测量可靠性、备件持续供应和整体持有成本有要求的设备厂商与实验平台选用。

产品定位与解决的问题

电容金属薄膜真空计依靠金属薄膜在压力差作用下的微小形变，通过电容变化换算真空度，具有线性度好、长期漂移小、对气体种类不敏感等特点，是半导体工艺腔体、镀膜设备和科研真空系统中常用的基础测量器件。常规产品在高温环境下的温漂与结构稳定性往往需要额外补偿，部分工艺场景（如腔体烘烤、高温除气、热工艺前后测量）对真空计本体耐温能力提出了更高要求。

XWN-CMG200 针对这一需求，将工作温度提升至 200℃，使真空规在设备烘烤或高温工艺环节中可以直接在线使用，减少因温度限制而额外增加隔离、降温或换位测量的环节。对于设备厂商而言，这意味着传感方案更简洁、维护节点更少；对于使用方而言，则有助于降低因高温导致读数漂移而带来的重复校准成本。

产品特点与配置

产品采用金属薄膜电容敏感结构与全金属腔体设计，膜片与电极材料经过匹配选型，兼顾弹性回复与耐温表现。信号处理电路针对宽温区做了温度补偿与零点稳定设计，输出接口可按用户系统配置模拟量或数字量形式。整机结构紧凑，便于集成到既有真空系统或设备腔体接口上。

• 全金属敏感结构，适合高温烘烤与热工艺环境在线测量
• 工作温度可达 200℃，宽温区温度补偿设计
• 线性输出，读数受气体种类影响较小
• 支持按系统需求配置输出接口与法兰形式
• 核心器件自主研发，供货与备件连续性有保障

相比常规室温型真空规，该产品的主要价值不在于单一指标的堆叠，而在于减少高温工况下的辅助措施与维护频次。设备不必为真空规单独设计降温风路或隔热结构，测量点位置的选择也更灵活，这些都会在整机设计、装配和后期维护中体现为可核算的成本节省。

应用场景

XWN-CMG200 适用于半导体工艺设备的腔体真空监测、真空镀膜生产线、太阳能电池制造设备、科研真空系统以及核工业相关真空环节。在需要腔体烘烤、高温除气或热工艺前后连续监测的场合，其耐温能力可以直接转化为流程上的便利。产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应体系，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计受美国禁令影响所带来的供应问题、实现核心器件国产替代为愿景。团队由 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过 50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现量程 0.1Torr 电容金属薄膜真空计的量产，并开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。目前已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项，产品通过 CE **，公司通过 ISO9001:2015 质量管理体系**。

性价比与长期价值

从采购角度看，XWN-CMG200 的价格需结合法兰形式、量程与输出配置确定，具体以报价为准。从全生命周期看，其价值主要体现在三方面：一是高温工况下无需额外隔热或降温附件，系统物料与装配成本更可控；二是国产化供应缩短交期，备件获取更及时，减少设备停机等待；三是金属薄膜结构长期漂移较小，校准与维护频次相对可控，长期使用成本更易预估。对于批量装机或长期运行的设备平台，这些因素往往比单台采购价更影响总投入。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口确认到批量交付的配套服务，可根据用户系统需求协助确定量程、法兰与输出形式。产品发货地为苏州，支持全国发货。售后环节提供技术响应与备件支持，具体服务条款以合同约定为准。欢迎设备厂商、科研院所及工程项目方就具体工况与我们沟通确认选型方案。

规格参数

• 型号:XWN-CMG200
• 工作原理:电容金属薄膜式
• 工作温度:最高 200℃
• 量程范围:按配置选型，覆盖低真空至中真空段（具体以选型确认）
• 输出形式:模拟量/数字量可选（按配置）
• 法兰接口:按用户系统需求配置

以上参数为典型配置说明，以实物为准，具体参数请咨询确认。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。