江苏行业内PVD设备用真空规产品-【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100系列真空规，是面向PVD（物理气相沉积）设备真空测量环节的国产电容金属薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr级别，可直接对标MKS、Inficon同类产品。产品适合半导体、真空镀膜、太阳能及科研院所中使用PVD设备的用户，核心卖点在于国产替代带来的采购成本与供货周期优势，以及通过CE**、ISO9001质量管理体系**所支撑的长期使用稳定性。本文以常见问题答疑形式，说明选型、价格、安装、质保等客户最关心的事项。

一、这款真空规适合什么设备，凭什么替代进口产品？

XWN-CMG-100主要面向PVD溅射、蒸发、离子镀等工艺腔体的中低真空测量。过去这一量程段的高端电容金属薄膜真空计长期依赖进口，采购周期长、价格高，且存在供货不确定性。迅微纳聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与制造，已实现要求较高的0.1Torr量程产品量产，并开发出工作温度可达200℃的型号，可适应PVD腔体烘烤与高温工艺环境。对设备厂商而言，这意味着在保持测量性能的前提下，获得更可控的供应链和更有弹性的价格空间。

二、价格大概什么水平，性价比体现在哪里？

具体价格根据量程、接口、法兰规格及是否带显示/通讯配置而定，需面议确认。从长期价值看，性价比不只体现在单台采购价：一是国产供货缩短交期，减少设备装配与产线停机的等待成本；二是本地化技术支持响应更快，校准与维修周期更短；三是产品线覆盖电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，同一供应商即可完成多类真空测量器件配套，降低选型与采购管理成本。建议用户在询价时提供工况参数，由技术人员给出配置建议后再比价。

三、怎么选型，需要提供哪些信息？

选型主要看三点：测量范围、工作环境温度、接口形式。PVD工艺腔体通常关注10⁻³Torr至大气压区间的分段测量，可组合使用电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计；有烘烤需求的腔体应优先考虑耐200℃的型号。用户询价时建议提供：工艺气体种类、腔体极限真空与工作真空、法兰规格（如KF、CF）、是否需要模拟输出或数字通讯。迅微纳可依据实际工况推荐配置，具体参数请咨询确认。

四、安装和使用有哪些注意事项？

• 安装位置应避开直接溅射气流与颗粒沉积区，必要时加装挡板或隔离阀；
• 法兰连接需按规范紧固，密封件选型与工艺气体兼容；
• 开机前确认供电与信号线接线正确，避免带电插拔；
• 长期处于污染工艺环境时，应按周期进行零点检查与校准；
• 高温型号需注意环境温度与线缆耐温等级匹配。

迅微纳提供安装指导与使用说明，遇到读数异常可先排查污染、密封与零点漂移等常见因素，再联系技术支持。

五、质保与售后如何保障？

产品出厂前经过检验，质保期限及范围以合同约定为准，常规提供一定期限的质保服务与技术支持。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**，研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，具备从设计到制造的技术闭环能力。对于设备厂商客户，可配合完成样机测试与小批量验证，再进入批量配套。

六、应用场景与交付能力

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，进入一线设备厂商和科研院所供应链，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，具备持续迭代与定制开发能力。发货地为全国发货，具体交期按订单与库存情况确认。

七、长期使用的价值怎么看？

真空规属于设备中的关键测量部件，其价值在于长期稳定与可维护性。选择国产替代方案，除降低采购支出外，更重要的是获得可持续的备件供应、较短的服务半径和可预期的校准维护成本。对于批量使用PVD设备的产线，统一供应商还有利于建立一致的校准与维护规范。迅微纳的定位是解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的供应问题，以自主研发制造支撑用户的长期使用需求。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100系列
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr级（具体量程以选型为准）
• 工作温度:常规型/耐200℃型可选
• 输出信号:模拟电压/电流输出，可选数字通讯
• 接口形式:KF/CF等标准法兰可选，以实物为准

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。